[实用新型]用于对工件进行处理的处理工位

权利要求书

1.用于对工件进行处理的处理工位，其特征在于，

所述处理工位(114)包括处理容器(136)，所述处理容器包围用于接纳所述工件(102)的处理腔(148)，

所述处理工位(114)包括用于接纳流体的流体罐(134)，以及

所述处理工位(114)包括流体引导部，借助所述流体引导部

a)为了淹没所述处理腔(148)能将所述流体从所述流体罐(134)引导到所述处理容器(136)中；和/或

b)为了排空所述处理腔(148)能将所述流体从所述处理容器(136)引导到所述流体罐(134)中。

2.根据权利要求1所述的处理工位，其特征在于，所述流体罐(134)关于重力方向(g)布置在所述处理容器(136)之上。

3.根据权利要求1或2所述的处理工位，其特征在于，所述流体引导部(140)包括泵装置(198)，借助所述泵装置能将所述流体从所述处理腔(148)泵入所述流体罐(134)中。

4.根据权利要求1或2所述的处理工位，其特征在于，所述流体引导部(140)包括构造成供给管道(142)的流体管道，借助所述流体管道能将所述流体供应至所述处理腔(148)，其中所述供给管道(142)在所述处理容器(136)的底板区域(146)中通入所述处理容器中。

5.根据权利要求4所述的处理工位，其特征在于，所述处理容器(136)包括流入区域(194)，所述流入区域在所述处理容器(136)的被设置用于更换所述工件(102)的排空状态下也填充有流体，其中所述供给管道(142)通入所述流入区域(194)中。

6.根据权利要求5所述的处理工位，其特征在于，所述处理容器(136)包括位于所述处理容器(136)的通道开口(158)之下的流入区域(194)。

7.根据权利要求1或2所述的处理工位，其特征在于，所述流体引导部(140)包括用于净化所述流体的净化装置(200)。

8.根据权利要求7所述的处理工位，其特征在于，所述净化装置(200) 布置在所述流体引导部(140)的用于将所述流体引导返回到所述流体罐(134)中的回流管道中。

9.根据权利要求1或2所述的处理工位，其特征在于，所述处理工位(114)包括控制装置，借助所述控制装置能控制和/或调节所述处理腔(148)中的淹没过程。

10.根据权利要求9所述的处理工位，其特征在于，借助所述控制装置通过控制和/或调节用于打开和封闭用于将所述流体供应至所述处理腔(148)的供给管道(142)的阀装置(144)能控制和/或调节所述处理腔(148)中的淹没过程。

11.根据权利要求9所述的处理工位，其特征在于，为了控制和/或调节所述淹没过程考虑一个或多个工件参数。

12.根据权利要求11所述的处理工位，其特征在于，为了控制和/或调节所述淹没过程考虑所述处理腔(148)之内的相应的所述工件(102)的几何形状和/或大小和/或位置。

13.根据权利要求9所述的处理工位，其特征在于，借助所述控制装置能控制所述淹没过程，使得在淹没期间改变所述处理腔(148)中的流体的填充速度和/或填充高度的变化率。

14.根据权利要求13所述的处理工位，其特征在于，借助所述控制装置能控制所述淹没过程，使得以匹配工件(102)的局部的稳定性差异的方式，在淹没期间改变所述处理腔(148)中的流体的填充速度和/或填充高度的变化率。