[实用新型]硅片悬浮传输机构

权利要求书

1.一种硅片悬浮传输机构，其特征在于，包括悬浮载台(100)，所述悬浮载台(100)的一侧表面设有多个气孔(101)，所述气孔(101)往外吹出气体和/或将气体抽吸进所述悬浮载台(100)内，以使硅片(900)悬浮于所述悬浮载台(100)设有所述气孔(101)的一侧；

所述悬浮载台(100)上设有限位机构(200)，所述限位机构(200)具有可活动的止挡件(210)，所述止挡件(210)能够活动至从所述硅片(900)远离所述悬浮载台(100)的一侧挡住所述硅片(900)的边缘部分。

2.根据权利要求1所述的硅片悬浮传输机构，其特征在于，所述悬浮载台(100)上设有挡边部(110)，所述挡边部(110)围成用于容置硅片(900)的容置槽(102)，所述限位机构(200)设于所述挡边部(110)上，且所述止挡件(210)能够转动至挡住硅片(900)的边缘部分。

3.根据权利要求2所述的硅片悬浮传输机构，其特征在于，所述止挡件(210)包括偏心轮部(211)以及挡板部(212)，所述偏心轮部(211)连接有转轴(213)，所述止挡件(210)通过所述转轴(213)可转动地安装于所述挡边部(110)，所述挡板部(212)连接于所述偏心轮部(211)一侧且朝向所述容置槽(102)延伸，所述挡板部(212)用于挡住硅片(900)的边缘部分。

4.根据权利要求3所述的硅片悬浮传输机构，其特征在于，所述止挡件(210)具有将硅片(900)限制在所述容置槽(102)内的限位状态和允许硅片(900)移入或移出所述容置槽(102)的开放状态；

当所述止挡件(210)处于限位状态时，所述挡板部(212)远离所述偏心轮部(211)的一端在所述悬浮载台(100)上的投影位于所述容置槽(102)内；

当所述止挡件(210)处于开放状态时，所述挡板部(212)远离所述偏心轮部(211)的一端在所述悬浮载台(100)上的投影位于所述容置槽(102)外。

5.根据权利要求4所述的硅片悬浮传输机构，其特征在于，所述挡边部(110)上对应所述偏心轮部(211)开设有置物槽(111)，所述限位机构(200)还包括顶杆(220)、第一磁铁(250)以及第二磁铁(260)；

所述顶杆(220)可活动地设于所述置物槽(111)内，所述顶杆(220)能够朝靠近或远离所述偏心轮部(211)的方向移动；

所述第一磁铁(250)设于所述顶杆(220)朝向所述偏心轮部(211)的一端，所述第二磁铁(260)设于所述偏心轮部(211)远离所述挡板部(212)的一侧，所述第一磁铁(250)与所述第二磁铁(260)之间相互吸引，

当所述顶杆(220)朝靠近所述顶杆(220)的方向移动时，所述顶杆(220)抵推所述偏心轮部(211)以使所述止挡件(210)沿第一方向转动；当所述顶杆(220)朝远离所述偏心轮部(211)的方向移动时，所述第一磁铁(250)与所述第二磁铁(260)之间的引力作用使得所述止挡件(210)沿第二方向转动；

当所述止挡件(210)沿第一方向转动时，所述止挡件(210)能够由开放状态转动至限位状态；当所述止挡件(210)沿第二方向转动时，所述止挡件(210)能够由限位状态转动至开放状态。

6.根据权利要求5所述的硅片悬浮传输机构，其特征在于，所述限位机构(200)还包括第一弹性件(230)，所述第一弹性件(230)连接所述顶杆(220)和所述挡边部(110)，以使所述顶杆(220)具有朝向所述偏心轮部(211)移动的趋势。

7.根据权利要求6所述的硅片悬浮传输机构，其特征在于，所述置物槽(111)内设有台阶(1111)，所述第一弹性件(230)为压缩弹簧，所述顶杆(220)靠近所述偏心轮部(211)的一端设有凸环(221)，所述第一弹性件(230)套设于所述顶杆(220)外侧，且所述第一弹性件(230)的两端分别抵接于所述台阶(1111)和所述凸环(221)。