[实用新型]一种真空蒸镀机的易冷却探头结构

权利要求书

1.一种真空蒸镀机的易冷却探头结构，所述易冷却探头结构用于检测被镀膜工件的镀膜膜层的厚度，所述易冷却探头结构包括探头固定件(1)、冷却水管(2)和腔体固定件(3)，所述冷却水管(2)与探头固定件(1)连接，所述腔体固定件(3)用于将所述易冷却探头结构与真空蒸镀机的主腔体板固定，其特征在于，所述探头固定件(1)具有一个或多个凹槽(11)，凹槽(11)的底面具有一个通孔(111)，晶振片(4)设置在凹槽(11)的底面上，探头(5)设置在晶振片(4)的上方并且探头(5)的下端在凹槽(11)的内部，所述探头固定件(1)将晶振片(4)和探头(5)固定在凹槽(11)相对应的位置，所述探头固定件(1)的内部还具有冷却液流道(12)，冷却水管(2)由进水管(21)和出水管(22)组成，所述冷却液流道(12)的一端与所述进水管(21)连接、另一端与所述出水管(22)连接。

2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的易冷却探头结构，其特征在于，所述凹槽(11)的深度小于探头固定件(1)的厚度，所述通孔(111)的宽度小于凹槽(11)的宽度，通孔(111)位于凹槽(11)的中部。

3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的易冷却探头结构，其特征在于，凹槽(11)为正方形、长方形、圆形、不规则形状中的一种，所述通孔(111)的形状与凹槽(11)的形状相同。

4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的易冷却探头结构，其特征在于，所述探头固定件(1)为正方体、长方体、圆柱体中的一种，一个或多个凹槽(11)均匀分布在探头固定件(1)内。

5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的易冷却探头结构，其特征在于，所述凹槽(11)有多个，冷却液流道(12)的形状与凹槽(11)的数量有关，凹槽(11)的数量不同则冷却液流道(12)的形状或/和尺寸不同。

6.如权利要求5所述的真空蒸镀机的易冷却探头结构，其特征在于，所述凹槽(11)有两个，冷却液流道(12)为在两个凹槽(11)的外围设置的椭圆形流道；所述凹槽(11)有三个，冷却液流道(12)为在三个凹槽(11)的外围设置的圆形流道，或者冷却液流道(12)为在三个凹槽(11)的内围和外围设置的圆形流道并且具有将两个圆形流道连接的流道；所述凹槽(11)有四个，冷却液流道(12)为“十”字形或者“田”字形，或者冷却液流道(12)为在四个凹槽(11)的内围设置的圆形流道和外围设置的椭圆形流道并且具有将内外流道连接的流道；所述凹槽(11)有五个，冷却液流道(12)为在五个凹槽(11)的外围设置的波浪形流道，或者冷却液流道(12)为在五个凹槽(11)的内围设置的圆形流道和外围设置的椭圆形流道并且具有将内外流道连接的流道；所述凹槽(11)有六个，冷却液流道(12)为在六个凹槽(11)的外围设置的波浪形流道，或者冷却液流道(12)为在六个凹槽(11)的内围和外围设置的圆形流道并且具有将两个圆形流道连接的流道。

7.如权利要求1所述的真空蒸镀机的易冷却探头结构，其特征在于，所述冷却水管(2)有一个或者多个，所述冷却水管(2)的进水管(21)及出水管(22)分布与探头固定件(1)的任一表面固定。

8.如权利要求7所述的真空蒸镀机的易冷却探头结构，其特征在于，所述进水管(21)和出水管(22)均与探头固定件(1)的上表面连接，或者进水管(21)和出水管(22)一个与探头固定件(1)的上表面连接、另一个与探头固定件(1)的下表面连接，或者进水管(21)和出水管(22)一个与探头固定件(1)的左侧面连接、另一个与探头固定件(1)的右侧面连接，或者进水管(21)和出水管(22)一个与探头固定件(1)的前侧面连接、另一个与探头固定件(1)的右侧面连接。

9.如权利要求1所述的真空蒸镀机的易冷却探头结构，其特征在于，所述探头固定件(1)能够旋转或者不能够旋转。

10.如权利要求9所述的真空蒸镀机的易冷却探头结构，其特征在于，所述探头固定件(1)的凹槽(11)有一个或者两个时，探头固定件(1)部不能够旋转，所述探头固定件(1)的凹槽(11)大于等于三个时，探头固定件(1)部能够旋转。