[实用新型]一种冷泵及冷泵系统

说明书

本申请公开了一种冷泵及冷泵系统，包括：冷泵本体、支撑件、底板和脚轮；冷泵本体位于支撑件的一侧，支撑件的另一侧与底板连接；脚轮位于底板远离支撑件的一侧；冷泵本体用于制造真空环境；支撑件和底板用于支撑冷泵本体；脚轮用于移动冷泵本体，如此设计，能够方便冷泵的移动和工作，提高了整体作业效率。

技术领域

本申请涉及半导体制作领域，具体而言，涉及一种冷泵及冷泵系统。

背景技术

目前在芯片制造工艺中，会使用到蒸发台(例如MARK50蒸发台)，其高真空的建立均使用冷泵(一般为16寸)，而冷泵在使用一定的时间后均需更换，维护。由于冷泵重量较重，每次更换一般需要2人托举，1人装卸。且由于安装空间狭小，操作配合困难，工作效率低。从安全角度考虑，易造成人身伤害等安全隐患。

实用新型内容

本申请提供一种冷泵及冷泵系统，能方便用户进行移动、拆卸、维修等操作。

第一方面，本申请实施例提供一种冷泵，包括冷泵本体、支撑件、底板和脚轮；

冷泵本体位于支撑件的一侧，支撑件的另一侧与底板连接；

脚轮位于底板远离支撑件的一侧；

冷泵本体用于制造真空环境；

支撑件和底板用于支撑冷泵本体；

脚轮用于移动冷泵本体。

在一种可能的实施方式中，支撑件包括第一支撑柱、第二支撑柱和第三支撑柱；

第一支撑柱、第二支撑柱和第三支撑柱在底板的投影两两连线后构成三角形。

在一种可能的实施方式中，第一支撑柱靠近冷泵本体的一侧包括第一凸块，第一支撑柱靠近底板的一侧包括第一凹槽；

冷泵本体靠近第一支撑柱的一侧包括与第一凸块对应的第一安装孔，冷泵本体和第一支撑柱通过第一凸块和第一安装孔连接；

底板靠近第一支撑柱的一侧包括与第一凹槽对应的安装柱，底板和第一支撑柱通过第一凹槽和第一安装柱连接。

在一种可能的实施方式中，第一凸块和第一安装孔可拆卸连接。

在一种可能的实施方式中，底板包括第一支撑区域和第二支撑区域，第一支撑柱位于第一支撑区域，第二支撑柱和第三支撑柱位于第二支撑区域，第一支撑区域小于第二支撑区域。

在一种可能的实施方式中，脚轮包括底座、连接件和滑轮；

底座靠近底板的一侧包括限位槽，底板靠近底座的一侧包括与限位槽对应的限位件，底座和底板通过限位槽和限位件连接；

连接件的一侧与底座远离底板的一侧连接；

连接件的另一侧与滑轮可活动连接，以使滑轮能够沿多个方向转动。

在一种可能的实施方式中，底座距离地面的距离为预设距离，底座与地面形成的预留空间用于容置千斤顶，千斤顶的高度小于预设距离。

在一种可能的实施方式中，底板包括第一导向边和第二导向边，第一导向边和第二导向边分别位于底板相对的两侧，第一导向边和第二导向边构成八字形。

在一种可能的实施方式中，限位槽包括内螺纹，限位件包括与内螺纹配合的外螺纹。

第二方面，本申请实施例提供一种冷泵系统，包括千斤顶和第一方面至少一种可能的实施方式中的冷泵，千斤顶用于举顶冷泵。