[实用新型]一种四氟化硅反应器有效
| 申请号： | 202121475455.0 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN215234118U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 冉康德;冀勇;郭海鸥;袁永智 | 申请（专利权）人： | 鹤壁德瑞科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/02 | 分类号： | B01J19/02;B01J19/00;B01J4/00;C01B17/45 |
| 代理公司： | 北京麦汇智云知识产权代理有限公司 11754 | 代理人： | 曹治丽 |
| 地址： | 458000 河南省鹤壁*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氟化 反应器 | ||
1.一种四氟化硅反应器，其特征在于：包括具有出气管路和进气管路的反应器本体，所述反应器本体包括相互连通的反应腔和加料腔，所述加料腔位于所述反应腔的上方，所述进气管路与所述反应腔相互连通，所述出气管路与所述加料腔相互连通。
2.根据权利要求1所述的四氟化硅反应器，其特征在于：所述加料腔的容积与所述反应腔的容积比为2.5～3.5:1。
3.根据权利要求2所述的四氟化硅反应器，其特征在于：所述加料腔的容积与所述反应腔的容积比为3:1。
4.根据权利要求1所述的四氟化硅反应器，其特征在于：还包括具有进水口和出水口的冷却套，所述冷却套包覆于所述反应腔外侧壁，所述冷却套内填充有冷却液。
5.根据权利要求1所述的四氟化硅反应器，其特征在于：所述反应腔的侧壁上设有检修口，所述反应腔还设有封闭所述检修口的密封盖。
6.根据权利要求5所述的四氟化硅反应器，其特征在于：还包括密封垫片，所述密封盖通过所述密封垫片密封所述检修口。
7.根据权利要求6所述的四氟化硅反应器，其特征在于：所述密封垫片包括铜垫片。
8.根据权利要求1所述的四氟化硅反应器，其特征在于：还包括与所述进气管路相连通的清洁管路。
9.根据权利要求1所述的四氟化硅反应器，其特征在于：还包括用于测量所述反应腔温度的温控器。
10.根据权利要求1所述的四氟化硅反应器，其特征在于：所述反应器本体采用不锈钢或蒙乃尔材料制造而成。
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