[实用新型]一种可混镀的真空电镀装置有效
申请号: | 202121479025.6 | 申请日: | 2021-06-30 |
公开(公告)号: | CN215163070U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 张忆霖;甘美婷;詹斯聪 | 申请(专利权)人: | 深圳立木表面处理科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 深圳市汇信知识产权代理有限公司 44477 | 代理人: | 赵英杰 |
地址: | 518105 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 可混镀 真空 电镀 装置 | ||
本实用新型属于真空镀膜机技术领域,公开了一种可混镀的真空电镀装置,真空镀膜机壳体上设置有真空机,真空镀膜机壳体左侧安装有靶材安装架,靶材安装架内部固定有平面耙和圆柱耙;真空镀膜机壳体内部安装转动底座,转动底座上安装有转盘,转盘上设置基片安装结构;基片安装结构设置有固定板,固定板上侧安装有转动电机和导向圆环轨;转动电机输出轴通过连接键与转动台连接,导向圆环轨与转动台下端的圆环槽相配合。本实用新型通过平面耙和圆柱耙在电源加热的作用下,将靶材电镀到工件表面上,提高了耐磨度;同时本实用新型能够带动工件旋转,能够覆盖到工件的任意面上。
技术领域
本实用新型属于真空镀膜机技术领域,尤其涉及一种可混镀的真空电镀装置。
背景技术
目前,传统水电镀由于对环境的污染及需要使用一些剧毒原料,已经被国家以及各级地方政府所限制发展,现阶段一些企业设立了集中污水处理的水电镀工业园,在一定程度上改变了污水乱排放的现象,但污水处理成本高,能耗高,而且造成水资源的浪费。在此背景下,目前迫切需要寻找一种替代传统水电镀的表面处理方法,使传统水电镀行业进行技术升级、技术改造,既符合国家环保政策,又可以满足产品出口的要求,同时提高出口产品的附加值。为了解决上述的问题,真空电镀设备发挥着关键性的作用。但是现有的真空电镀设备将工件电镀完成后,易产生磨损,降低了电镀的效果。同时现有的真空电镀设备在电镀过程中,不能使工件进行转动,易产生电镀不到位的位置。
通过上述分析,现有技术存在的问题及缺陷为:
(1)现有的真空电镀设备将工件电镀完成后,易产生磨损,降低了电镀的效果。
(2)现有的真空电镀设备在电镀过程中,不能使工件进行转动,易产生电镀不到位的位置。
实用新型内容
为了解决现有技术存在的问题,本实用新型提供了一种可混镀的真空电镀装置。
本实用新型是这样实现的,一种可混镀的真空电镀装置,所述可混镀的真空电镀装置设置有真空镀膜机壳体;
真空镀膜机壳体上设置有真空机,真空镀膜机壳体左侧安装有靶材安装架,靶材安装架内部固定有平面耙和圆柱耙;
真空镀膜机壳体内部安装转动底座,转动底座上安装有转盘,转盘上设置基片安装结构;
基片安装结构设置有固定板,固定板上侧安装有转动电机和导向圆环轨;
转动电机输出轴通过连接键与转动台连接,导向圆环轨与转动台下端的圆环槽相配合;
转动台上侧安装有支撑侧板,支撑侧板上通过弹簧固定有夹持固定板。
进一步,所述夹持固定板与拉杆连接,拉杆与拉柄连接。
进一步,所述转动底座设置有支撑座,支撑座上侧安装有支撑凸台,支撑凸台上侧安装有支撑竖杆;
支撑竖杆上侧通过转轴安装有支撑架,转轴通过联轴器与翻转电机输出轴连接,翻转电机固定在支撑竖杆上。
进一步,所述支撑架底侧安装有转盘电机,转盘电机上端安装有转盘。
进一步,所述靶材安装架左端安装有偏压电源接口,靶材安装架上侧通过螺纹孔固定有第一旋钮和第二旋钮。
进一步,所述第一旋钮与平面耙挤压板连接,平面耙挤压板上嵌装有加热丝;
第二旋钮与圆柱耙挤压板连接,圆柱耙挤压板上嵌装有加热丝,圆柱耙挤压板上设置有凹面槽。
结合上述的所有技术方案,本实用新型所具备的优点及积极效果为:
本实用新型通过平面耙和圆柱耙在电源加热的作用下,将靶材电镀到工件表面上,提高了耐磨度;同时本实用新型能够带动工件旋转,能够覆盖到工件的任意面上。
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