[实用新型]烘干装置和清洗设备

说明书

本实用新型提供了一种烘干装置和清洗设备，一种烘干装置，包括槽体、进风组件、出风组件和循环风装置，进风组件位于槽体内部一侧，出风组件位于槽体内部的相对另一侧，循环风装置适于提供烘干气流，其中，进风组件、出风组件将槽体分割成第一风腔、容纳槽、第二风腔，烘干气流依次经过第一风腔、容纳槽和第二风腔。本实用新型的技术方案中，采用从槽体侧面吹风、侧面吸风的方式实现待烘干件的烘干，在不影响客户端产能及良率的前提下，规定的节拍时间里，提高烘干的效率。

技术领域

本实用新型涉及烘干技术领域，具体而言，涉及一种烘干装置和清洗设备。

背景技术

随着太阳能光伏行业的发展，晶体硅电池发展的趋势是低成本、高效率、大产量，晶体硅电池的制备需要经过各种工艺槽后完全浸透，需被烘干再出设备，现有烘干设备在烘干设备槽内装载多个载具时，采用在槽体侧壁设置吹风管路，四周环绕向下的吹风方式实现载具的烘干，但风力多集中在靠近槽体侧壁放置的载具上，位于载具与载具之间即槽体中间位置放置的载具流通的风量较小，不能同时实现有效烘干。所以，当槽体尺寸变大，槽体内装置的载具增多时，现有的烘干设备中采用的烘干方式无法实现中间载具以及载具中承载的硅片的烘干。

实用新型内容

本实用新型旨在解决上述技术问题的至少之一。

为此，本实用新型的第一目的在于提供一种烘干装置。

本实用新型的第二目的在于提供一种清洗设备。

为实现本实用新型的第一目的，本实用新型的技术方案提供了一种烘干装置，包括：槽体、进风组件、出风组件和循环风装置；进风组件位于槽体内部一侧；出风组件位于槽体内部的相对另一侧；循环风装置适于提供烘干气流；其中，进风组件、出风组件将槽体分割成第一风腔、容纳槽、第二风腔，烘干气流依次经过第一风腔、容纳槽和第二风腔。

本技术方案采用从槽体一侧面吹风、相对另一侧侧面吸风的方式，在不影响客户端产能及良率的前提下，规定的节拍时间里，提高烘干的效率。

另外，本实用新型提供的技术方案还可以具有如下附加技术特征：

上述技术方案中，进风组件包括：进风板，进风板上设置有多个第一通风孔，以使第一风腔内的烘干气流进入容纳槽。

本技术方案中，通过设置进风板和第一通风孔，可以使烘干气流进入容纳槽，进而对容纳槽内的工件进行烘干。

上述任一技术方案中，出风组件包括：出风板，出风板上设置有多个第二通风孔，以使容纳槽内的烘干气流进入第一风腔。

本技术方案中，通过设置第二通风孔，快速使主槽内的烘干气流被抽离，进而提高循环效率，进而实现有效的循环烘干。

上述任一技术方案中，进风组件还包括：进风调风板和安装板，进风调风板贴近进风板一侧，进风调风板上设有多个第一调风孔，通过调整进风调风板与进风板的相对位置，以使第一调风孔与第一通风孔中心对准或中心错位。安装板固定安装在槽体内部，以用于分割槽体，进风板和进风调风板分别可滑动安装在安装板上。

本技术方案中，可以根据工件的具体情况，控制进风量，满足烘干要求。本技术方案可加速烘干气流的流动，快速使主槽内的烘干气流被抽离，进而提高循环效率。

上述任一技术方案中，槽体包括至少一个槽体进风口、导风组件和至少一个槽体出风口；槽体进风口设于槽体上，槽体进风口与循环风装置相连；槽体进风口通过导风组件与第一风腔连通，以使烘干气流由槽体进风口进入第一风腔；槽体出风口设于槽体底部，槽体出风口与循环风装置相连，以使烘干气流由第二风腔进入循环风装置。

本技术方案在不影响客户端产能及良率的前提下，规定的节拍时间里，提高烘干的效率，实现工件的有效烘干。