[实用新型]一种贴膜盘更换治具

说明书

本申请公开了一种贴膜盘更换治具，包括用于连接贴膜盘的至少两个连接件；以及用于抓握的手持件，所述连接件分设于所述手持件的两端。本申请的更换治具通过设置手持件，在更换贴膜盘时易于抓取和施加拉力，且有效避免了贴膜盘卸载过程中可能发生的脱手，使得贴膜盘的更换更加安全、便捷。

技术领域

本申请一般涉及半导体技术领域，具体涉及一种贴膜盘更换治具。

背景技术

在半导体集成电路和各种微机电的制造过程中，其中一道步骤是在晶圆表面或背面贴上薄膜，以便进行后续相关的晶圆制程。操作方法为：将晶圆按规定放置在贴膜机的晶圆贴膜盘上，开启真空，晶圆被吸附固定于贴膜盘上；拉出保护膜贴合在晶圆表面；转动切刀，切刀沿晶圆周边轨迹切除未粘贴在晶圆上的保护膜。

现有的贴膜机的贴膜盘仅对应单一的晶圆尺寸，例如3寸、4寸、5寸、6寸、8寸、12寸等，当需要对不同尺寸的晶圆进行贴膜时，需要更换与晶圆尺寸相对应的贴膜盘。现行的更换方式是使用两个长螺栓连接贴膜盘(图1)，手握长螺栓取下贴膜盘，这种更换方式存在如下缺点：1)拿取不方便，易脱手，容易造成安全事故；2)贴膜盘被取下后无法水平放置，易造成贴膜盘下方基座受损，引起真空吸附不足；3)长螺栓被取下后易丢失或隐藏于不易被发现的角落；以上缺点使得贴膜盘的更换和切换十分繁琐。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请期望提供一种贴膜盘更换治具，以实现方便、快捷、安全地更换贴膜盘。

作为本申请的第一方面，本申请提供了一种贴膜盘更换治具。

作为优选，所述贴膜盘更换治具包括：

用于连接贴膜盘的至少两个连接件；以及

用于抓握的手持件，所述连接件分设于所述手持件的两端。

作为优选，所述连接件包括连接杆以及连接于所述连接杆一个端部的限位凸台，所述手持件的两端分别具有让所述连接杆穿过的安装孔，所述安装孔与所述连接杆之间设有活动间隙；

所述连接杆上设有向外延伸的挡止件，所述手持件限位于所述挡止件与所述限位凸台之间。

作为优选，所述挡止件为形成在所述连接杆上的凸起。

作为优选，所述凸起的数量为多个，环绕所述连接杆间隔设置。

作为优选，所述凸起环绕所述连接杆一周设置。

作为优选，所述挡止件为可拆卸连接在所述连接杆上的卡扣或螺母。

作为优选，所述连接杆至少与所述限位凸台相对应的另一个端部设有螺纹。

作为优选，所述限位凸台上设有用于支撑所述贴膜盘的支撑平台，所述支撑平台的横截面积大于所述限位凸台的横截面积。

作为优选，所述手持件为矩形板状结构，所述连接件对称设置在所述手持件的两端。

本申请的有益效果：

本申请的更换治具通过设置手持件，在更换贴膜盘时易于抓取和施加拉力，且有效避免了贴膜盘卸载过程中可能发生的脱手，使得贴膜盘的更换更加安全、便捷。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为现有技术的贴膜盘与长螺栓的连接示意图；

图2为本申请一种实施方式的贴膜盘更换治具的侧视图；

图3为图2所示的贴膜盘更换治具的顶视图；

图4为本申请一种实施方式的连接件的结构示意图；