[实用新型]一种石墨舟清洗系统

说明书

本实用新型提供一种石墨舟清洗系统，属于电池制造技术领域，包括：酸洗槽组，所述酸洗槽组中包括多个酸洗槽；喷淋槽，用于对石墨舟及夹持石墨舟的机械臂进行喷淋冲洗；水洗槽组，所述水洗槽组中包括多个水洗槽；慢提槽，用于去除石墨舟表面的金属离子；所述酸洗槽组、喷淋槽、水洗槽组和慢提槽顺次排列，所述酸洗槽、喷淋槽、水洗槽和慢提槽的底部均设置有底板，所述底板呈漏斗型，用于排出沉淀物。本实用新型提供了石墨舟清洗系统，包括酸洗槽、喷淋槽、水洗槽和慢提槽，且槽体底部呈漏斗型的底板可以及时将清洗产生的杂质排出，避免沉淀堆积，使得装置可以长期正常使用。

技术领域

本实用新型涉及电池制造技术领域，具体为一种石墨舟清洗系统。

背景技术

在新型PECVD技术的发展下，膜层结构越来越复杂，导致石墨舟的清洗难度大大提高。原因在于镀膜沉积的过程需要使用到石墨舟作为载体，电池片借助石墨舟固定放置至在高温炉管中借助微波或射频作用下，在高温高电压下石墨舟具有较强的导电作用，将固定相邻的电池片之间形成电场，将通入的特气电离成等离子体，其反应沉积在电池片表面，形成氮化硅及氮氧化硅膜。在此过程中石墨舟表面也镀上氮化硅及氮氧化硅膜，因此需要对石墨舟进行清洗后才能重复利用。

现有技术中，申请号为“201920289015.2”的一种石墨舟清洗设备，包括清洗槽体，设于所述清洗槽体内的多个用于放置石墨舟并对所述石墨舟进行处理的工位，用于搬运所述石墨舟的机械手，控制所述机械手将所述石墨舟在各个工位之间搬运的控制系统，该石墨舟清洗设备内部采用机械手来进行搬运，减少了人工操作，降低了操作人员的劳动强度，提高了工作效率，此外，外部采用上下料小车来上下料，方便了用户的使用。

但是，其在使用过程中，仍然存在较为明显的缺陷：上述装置在清洗使用过程中，产生的例如氮氧化硅等固体杂质容易沉淀在石墨舟清洗机的槽底处，长期积累会导致底部沉淀较多，在排放药液时，容易出现排液阀堵塞等异常情况，严重影响到石墨舟清洗装置的正常使用，需要频繁地进行人工清理，较为繁琐。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石墨舟清洗系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种石墨舟清洗系统，包括：

酸洗槽组，所述酸洗槽组中包括多个酸洗槽；

喷淋槽，用于对石墨舟及夹持石墨舟的机械臂进行喷淋冲洗；

水洗槽组，所述水洗槽组中包括多个水洗槽；

慢提槽，用于去除石墨舟表面的金属离子；以及

所述酸洗槽组、喷淋槽、水洗槽组和慢提槽顺次排列，所述酸洗槽、喷淋槽、水洗槽和慢提槽的底部均设置有底板，所述底板呈漏斗型，用于排出沉淀物。

优选的，所述底板的底部均设置有药液排放管，所述药液排放管上设置有药液排放阀门。

优选的，所述酸洗槽、喷淋槽、水洗槽和慢提槽中均设置有电导率监控仪。

优选的，所述酸洗槽之间通过第一连通管相连通，位于同一所述酸洗槽组的酸洗槽上至少设置有三路酸洗槽进液管和一路酸洗槽溢流管。

优选的，至少一个所述酸洗槽和水洗槽中活动设置有L型硬质板，所述L型硬质板上开设有第一导风通道和第二导风通道，所述第一导风通道连通于L型硬质板表面设置的鼓泡突出管，所述第二导风通道连通于鼓泡板，所述鼓泡板和L型硬质板相固定，所述鼓泡板上开设有多个气孔，所述L型硬质板远离鼓泡板的一侧固定设置有汇流管，所述汇流管中固定设置有第一气缸，所述第一气缸的输出端固定设置有挡板，所述汇流管远离L型硬质板的一侧连通设置有进风管，所述进风管上设置有风机。

优选的，所述L型硬质板可由高度调节结构驱动以改变其高低位置。