[实用新型]一种声波器件以及一种滤波装置有效
| 申请号： | 202121503177.5 | 申请日： | 2021-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN215871344U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 彭波华;胡念楚;贾斌 | 申请（专利权）人： | 开元通信技术（厦门）有限公司;麦姆斯通信技术（上海）有限公司;麦姆斯通信技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/54;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王云晓 |
| 地址： | 361026 福建省厦门市海沧区中国（福建）自由贸易*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 声波 器件 以及 滤波 装置 | ||
1.一种声波器件，其特征在于，包括：
衬底；
位于所述衬底一侧的压电层；
位于所述压电层背向所述衬底一侧表面的叉指电极；所述叉指电极包括相对设置的两条母线，两条所述母线之间设置有至少两条指状电极，所述指状电极与对应的一所述母线相接触，与另一所述母线之间具有间隙，所述间隙形成沿所述母线延长线的方向延伸的间隙区域；
所述压电层背向所述衬底一侧表面位于所述间隙区域中，未被所述叉指电极覆盖的区域设置有凹槽。
2.根据权利要求1所述的声波器件，其特征在于，所述凹槽的深度不小于所述压电层的厚度。
3.根据权利要求2所述的声波器件，其特征在于，还包括：
位于所述衬底一侧表面的布拉格反射层；所述压电层位于所述布拉格反射层背向所述衬底一侧表面。
4.根据权利要求3所述的声波器件，其特征在于，所述凹槽的深度不小于所述压电层厚度与所述布拉格反射层厚度之和。
5.根据权利要求2所述的声波器件，其特征在于，所述压电层位于所述衬底一侧表面，所述衬底朝向所述压电层一侧设置有空腔，所述压电层覆盖所述空腔。
6.根据权利要求1所述的声波器件，其特征在于，所述指状电极包括与任一所述母线相接触的第一端部、与所述第一端部相对的第二端部以及位于所述第一端部和所述第二端部之间的中间部；所述第二端部与另一所述母线之间具有所述间隙；所述第二端部形成沿所述母线延长线的方向延伸的边缘区域，所述中间部形成沿所述母线延长线的方向延伸的中间区域；
所述指状电极背向所述衬底一侧表面设置有反射层，以使所述中间区域的声波速度大于所述边缘区域的声波速度。
7.根据权利要求6所述的声波器件，其特征在于，所述反射层位于所述边缘区域。
8.根据权利要求6所述的声波器件，其特征在于，所述反射层位于所述中间区域，所述反射层为高声速材料层。
9.一种滤波装置，其特征在于，包括如权利要求1至8任一项权利要求所述的声波器件。
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