[实用新型]一种大面积薄膜压力传感器

权利要求书

1.一种大面积薄膜压力传感器，其特征在于，包括：

上封装层和下封装层；

电极层，设置于所述下封装层上，且所述电极层与外部电源连接；

纳米敏感层，以薄膜状形态形成于所述上封装层上；

柔性支撑层，设置在所述纳米敏感层和所述电极层之间，且构造成在所述大面积薄膜压力传感器受到外界压力时允许所述纳米敏感层和所述电极层的接触，在所述外界压力撤销时使得所述纳米敏感层和所述电极层完全分离。

2.根据权利要求1所述的大面积薄膜压力传感器，其特征在于，所述纳米敏感层和所述电极层均构造成连续的；

所述电极层和所述纳米敏感层上下对齐布置。

3.根据权利要求2所述的大面积薄膜压力传感器，其特征在于，所述纳米敏感层的面积大于或等于第一预设面积，所述第一预设面积是所述纳米敏感层在悬空状态时能够出现自塌陷的最小面积。

4.根据权利要求2所述的大面积薄膜压力传感器，其特征在于，所述电极层的面积大于或等于第二预设面积，所述第二预设面积是所述纳米敏感层在悬空状态时能够出现自塌陷的最小面积。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的大面积薄膜压力传感器，其特征在于，所述柔性支撑层构造成能够由所述纳米敏感层和/或所述电极层的外边缘区域逐渐向中心区域为所述纳米敏感层和/或所述电极层提供多个支撑点。

6.根据权利要求5所述的大面积薄膜压力传感器，其特征在于，所述柔性支撑层的多个支撑点阵列式排布。

7.根据权利要求6所述的大面积薄膜压力传感器，其特征在于，所述柔性支撑层构造成网格形、锯齿形、同心圆环形或迷宫型。

8.根据权利要求6或7所述的大面积薄膜压力传感器，其特征在于，所述电极层构造为叉指电极；

所述叉指电极的电极密度与所述柔性支撑层的所述多个支撑点的密度是相互匹配的，以在所述大面积薄膜压力传感器受到外界压力时，避免所述柔性支撑层影响所述纳米敏感层和所述电极层的接触，并在所述外界压力撤销时支撑所述纳米敏感层和所述电极层，并使得所述纳米敏感层和所述电极层能够完全分离。

9.根据权利要求8所述的大面积薄膜压力传感器，其特征在于，所述叉指电极的电极密度与所述柔性支撑层的所述多个支撑点的密度设置成，在所述大面积薄膜压力传感器受到外界压力时，允许所述纳米敏感层能够至少同时接触到所述叉指电极的四根电极。

10.根据权利要求1-4、6和7中任一项所述的大面积薄膜压力传感器，其特征在于，所述下封装层上形成有凹槽，所述凹槽与所述电极层的形状匹配，以允许所述电极层嵌入所述凹槽内，并使所述电极层的上表面与所述下封装层的上表面齐平。