[实用新型]一种动量分辨光电子能谱仪装置

权利要求书

1.一种动量分辨光电子能谱仪装置，包括底座(1)、驱动箱(3)和安装盒(4)，其特征在于：所述底座(1)的顶部安装有设备箱(2)，所述底座(1)的顶部安装有驱动箱(3)，且驱动箱(3)位于设备箱(2)的一侧；

所述驱动箱(3)的一侧内壁上安装有安装盒(4)，所述安装盒(4)的一侧安装有进风口(401)，进风口(401)的一侧安装有驱动电机(404)；

所述驱动箱(3)的顶部安装有安装板(5)，所述安装板(5)的顶部安装有支撑板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种动量分辨光电子能谱仪装置，其特征在于：所述底座(1)的底部对称分布安装有固定垫(101)。

3.根据权利要求1所述的一种动量分辨光电子能谱仪装置，其特征在于：所述设备箱(2)的正面安装有开关按钮(201)。

4.根据权利要求1所述的一种动量分辨光电子能谱仪装置，其特征在于：所述驱动箱(3)的正面安装有控制面板(301)，驱动箱(3)的一侧对称分布安装有固定件(302)，驱动箱(3)的一侧通过固定件(302)安装有防尘网(303)。

5.根据权利要求1所述的一种动量分辨光电子能谱仪装置，其特征在于：所述安装盒(4)的一侧安装有出风管(402)，且出风管(402)的一端贯穿驱动箱(3)的一侧内壁，驱动电机(404)的输出端安装有风扇(405)，且风扇(405)位于安装盒(4)的内部，安装盒(4)的一侧内壁上安装有固定轴(403)。

6.根据权利要求1所述的一种动量分辨光电子能谱仪装置，其特征在于：所述安装板(5)的顶部安装有安装柱(501)，安装柱(501)的顶端安装有进入口(502)，进入口(502)的一端安装有连接管(503)，连接管(503)的一端安装有分析器(504)，且分析器(504)的底部安装在安装板(5)的顶部，分析器(504)的顶部安装有射线源(505)，分析器(504)的顶部安装有显微镜(506)，且显微镜(506)位于射线源(505)的一侧。

7.根据权利要求1所述的一种动量分辨光电子能谱仪装置，其特征在于：所述支撑板(6)的顶部安装有分析仪(601)，分析仪(601)的正面安装有连接件(602)，且连接件(602)的一端固定在分析器(504)的顶部。