[实用新型]一种物理气相沉积炉

说明书

本实用新型涉及气相炉设备技术领域，更具体的说是一种物理气相沉积炉。本实用新型提供一种物理气相沉积炉，其有益效果为可以实现对工作的气相沉积炉进行温度测量，从而确保气相炉内的温度为加工的适宜温度。一种物理气相沉积炉，包括气相炉、抽气口、气孔和温度传感器，气相炉上设置有进气口，气相炉上设置有气孔，温度传感器与气相炉外壁接触。一种物理气相沉积炉还包括盛放板，多个盛放板均固定连接在气相炉内部。一种物理气相沉积炉还包括盛放槽，多个盛放板上均设置有盛放槽。

技术领域

本实用新型涉及气相炉设备技术领域，更具体的说是一种物理气相沉积炉。

背景技术

申请号为CN201921136235.8公开的包括沉积炉本体和探针天线，所述沉积炉本体的边侧安装有向下倾斜分布的进气管，所述探针天线垂直安装在沉积炉本体的顶端，且探针天线的内部空腔中设置有同样垂直分布的竖杆，所述沉积炉本体的边侧安装有电动机，且电动机和垂直分布的转轴相连接，所述石英钟罩的内弧面上设置有冷却杆，且冷却杆的中心处固定安装在竖杆底端，并且石英钟罩的底端设置有桨叶，所述探针天线的底端设置有排气口。该设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，通过对现有倒置放置的钟罩内外部结构的添加和改动，实现了钟罩本身的高效散热，同时对吹入沉积炉的反应气体具备聚拢作用，设计更加合理。但是该专利无法实现对工作的气相沉积炉进行温度测量，从而确保气相炉内的温度为加工适宜温度。

实用新型内容

本实用新型提供一种物理气相沉积炉，其有益效果为可以实现对工作的气相沉积炉进行温度测量，从而确保气相炉内的温度为加工适宜温度。

一种物理气相沉积炉，包括气相炉、抽气口、气孔和温度传感器，气相炉上设置有抽气口，气相炉上设置有气孔，温度传感器与气相炉外壁接触。

一种物理气相沉积炉还包括盛放板，多个盛放板均固定连接在气相炉内部。

一种物理气相沉积炉还包括盛放槽，多个盛放板上均设置有盛放槽。

本实用新型一种物理气相沉积炉的有益效果为：

本实用新型能够实现对工作的气相沉积炉进行温度测量，从而确保气相炉内的温度为加工适宜温度，避免温度过低导致加工出现误差的情况出现，同时避免温度过高导致气相炉或加工物品发生意外损坏的情况出现。

附图说明

下面结合附图和具体实施方法对本实用新型做进一步详细的说明。

图1为一种物理气相沉积炉的整体结构示意图一；

图2为一种物理气相沉积炉的整体结构示意图二；

图3为管体和分隔板的结构示意图；

图4为连接板和固定环的结构示意图；

图5为连接板和底座的结构示意图；

图6为加热箱和连接板的结构示意图；

图7为固定部的结构示意图。

图中：气相炉101；抽气口102；气孔103；盛放板104；盛放槽105；减速电机201；丝杠202；温度传感器203；限位杆204；连接环205；丝杠架206；盖板301；固定螺钉302；气缸401；记号刷402；弹簧403；滑动壳404。

具体实施方式

参看图1-2，示出了按照本实用新型中对工作的气相沉积炉进行温度测量的实施例的示意图，进一步地，