[实用新型]一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置

说明书

本实用新型公开了一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置，包括除水器、冷凝器、冷凝液接收器、阳离子交换树脂塔、阴离子交换树脂塔和混配槽，所述除水器的进口与有机废气的排气管连通，所述除水器的出口与所述冷凝器的进口连接，所述冷凝器的出口与所述冷凝液接收器的进口连接，所述冷凝液接收器出口依次与所述阳离子交换树脂塔、阴离子交换树脂塔连接，所述阴离子交换树脂塔与所述混配槽连接，本实用新型通过设置主体，主体内部设置冷凝管，废气通过冷凝管进行冷凝，通过设置导板，使得主体内部冷凝水的流动方向与冷凝管相反，从而加速冷凝效率。

技术领域

本实用新型涉及有机废气处理技术领域，具体领域为一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置。

背景技术

目前，国内半导体晶圆制造厂及TFT-LCD面板光电制造业面板制程中需要使用大量有机溶液产生大量有机废气(VOCs)。其中，光刻胶剥离工序是产生有机废气的主要工序之一。目前所用的光刻胶剥离液(stripper)主要成分为高沸点而且几乎全溶于水的有机溶液，如乙醇胺(MEA)，二甲基亚砜(DMSO)，乙二醇单丁醚(BDG)等。有机废气对人体直接影响很大，由于有机废气具有渗透、脂及挥发等作用，人体与有机废气接触或经呼吸消化系统造成危害。某些有机废气不但容易造成作业环境空气品质恶化，而且经光化作用所造成二次污染。所以必须加以处理后方可直接排放到大气中。焚烧法是目前被各面板厂所广泛采用的有机废气处理方法。该方法由于废气中有机成分浓度通常不足以提供燃烧能量，因此保持高温的燃料费用十分可观。

因此，如何有效节省操作成本以实现有机废气的有效回收为半导体和平板行业生产中需要处理有机废气的一重要课题，为此，提出一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置，包括除水器、冷凝器、冷凝液接收器、阳离子交换树脂塔、阴离子交换树脂塔和混配槽，所述除水器的进口与有机废气的排气管连通，所述除水器的出口与所述冷凝器的进口连接，所述冷凝器的出口与所述冷凝液接收器的进口连接，所述冷凝液接收器出口依次与所述阳离子交换树脂塔、阴离子交换树脂塔连接，所述阴离子交换树脂塔与所述混配槽连接，所述除水器用于除去废气中水汽，所述冷凝器用于对废弃进行降温，所述阳离子交换树脂塔和阴离子交换树脂塔，用以除去冷凝液和吸收剂中的微量金属元素，起到纯化金属杂质的目的，所述冷凝器包括主体，所述主体呈板状，所述主体的内部设有矩形腔体，所述矩形腔体的内部设有冷凝管，所述矩形腔体的内部设有导板。

优选的，所述冷凝管的两端分别贯穿所述主体的侧壁，所述冷凝管对应位于所述矩形腔体内部的部分呈蛇形分布。

优选的，所述导板的数量为多个，所述导板分别位于相邻的两部分所述冷凝管之间，所述导板沟通构成蛇行通道，所述冷凝管穿过所述蛇行通道，所述主体的侧壁对应所述蛇行通道的两端分别贯穿设有进水管和出水管。

优选的，所述冷凝器的数量为两个，两个所述冷凝器的所述冷凝管相连接。

优选的，其中远离所述除水器一端的所述冷凝器对应的所述出水管通过导管与另一个所述冷凝器对应的所述进水管相连。

优选的，所述主体的外表面设有散热鳍片。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置，通过设置除水器、冷凝器、冷凝液接收器、阳离子交换树脂塔、阴离子交换树脂塔和混配槽，除水器用于除去废气中水汽，冷凝器用于对废弃进行降温，阳离子交换树脂塔和阴离子交换树脂塔，用以除去冷凝液和吸收剂中的微量金属元素，起到纯化金属杂质的目的，最终通过混配槽对冷凝液进行混配从而获得成品，通过设置主体，主体内部设置冷凝管，废气通过冷凝管进行冷凝，通过设置导板，使得主体内部冷凝水的流动方向与冷凝管相反，从而加速冷凝效率。