[实用新型]一种进样装置有效
申请号: | 202121551925.7 | 申请日: | 2021-07-08 |
公开(公告)号: | CN215727941U | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 魏东亮;安军林;牟童;曹岩德;王万英;陈英春 | 申请(专利权)人: | 青海亚洲硅业半导体有限公司;亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | G01N30/20 | 分类号: | G01N30/20 |
代理公司: | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人: | 张巨箭 |
地址: | 810007 青*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 | ||
1.一种进样装置,其特征在于:包括尾吹管道(01)、置换气管道(02)和进样管道(03),所述进样管道(03)的两端分别与尾吹管道(01)和置换气管道(02)连接,所述尾吹管道(01)还与置换气管道(02)连接;
所述尾吹管道(01)的入口端设置有包括第一截止阀(3)的第一调节装置(04),尾吹管道(01)的出口端连接有尾气处理装置,所述进样管道(03)与尾吹管道(01)的连接处位于第一调节装置(04)和尾气处理装置之间;
所述置换气管道(02)的入口端设置有包括第二截止阀(6)的第二调节装置(05),所述置换气管道(02)上还包括与第二调节装置(05)顺次连接的第三调节装置(06)和六通阀(22),第三调节装置(06)包括第三截止阀(20),所述六通阀(22)还连接置换气管道(02)的出口端,所述置换气管道(02)的出口端连接外部设备,所述六通阀(22)连接尾吹管道(01)的出口端,所述尾吹管道(01)与置换气管道(02)之间通过第四截止阀(19)连接,所述进样管道(03)与置换气管道(02)的连接处位于第二调节装置(05)和第三调节装置(06)之间;
所述进样管道(03)上设置有接口装置(07),接口装置(07)的其中一端通过第五截止阀(8)与置换气管道(02)连接,接口装置(07)的另外一端通过第一针型阀(7)与尾吹管道(01)连接。
2.根据权利要求1所述的一种进样装置,其特征在于:所述进样管道(03)设置为多个,每个进样管道(03)上设置有不同规格型号的接口装置(07)。
3.根据权利要求2所述的一种进样装置,其特征在于:所述进样管道(03)设置为三个,所述接口装置(07)为G5/8-RHF接口装置、φ3mm接口装置和1/4NPT接口装置。
4.根据权利要求2所述的一种进样装置,其特征在于:三个进样管道(03)与置换气管道(02)的连接采用同一根管道。
5.根据权利要求1所述的一种进样装置,其特征在于:所述进样装置还包括气枪吹扫装置(18),所述气枪吹扫装置(18)通过第九截止阀(17)与进样管道(03)连接,连接点位于第一针型阀(7)与尾吹管道(01)之间。
6.根据权利要求5所述的一种进样装置,其特征在于:所述进样装置还包括设置于进样管道(03)上的第八截止阀(16),所述第八截止阀(16)设置于所述连接点和尾吹管道(01)之间。
7.根据权利要求1所述的一种进样装置,其特征在于:所述尾吹管道(01)为惰性气体尾吹管道(01)。
8.根据权利要求1所述的一种进样装置,其特征在于:所述第一调节装置(04)还包括与第一截止阀(3)顺次连接的第一减压阀(1)和第一电子流量计(2);所述第二调节装置(05)还包括与第二截止阀(6)连接的第二减压阀(4)和第二电子流量计(5);所述第三调节装置(06)还包括第三电子流量计(21),所述接口装置(07)与置换气管道(02)之间还设置有第三减压阀(9)。
9.根据权利要求1所述的一种进样装置,其特征在于:所述六通阀(22)和尾吹管道(01)的出口端之间还设置有止回阀(23)。
10.根据权利要求1所述的一种进样装置,其特征在于:所述尾气处理装置为与被测样品相匹配的溶剂;所述外部设备为气相色谱仪。
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