[实用新型]一种半导体检测用探针平台

权利要求书

1.一种半导体检测用探针平台，其特征在于：包括安装底板(1)、驱动机构(8)和探针安装机构(9)；

安装底板(1)：其上表面外侧设有四根均匀分布的滑柱(6)，滑柱(6)的上端滑动连接有升降台(7)；

驱动机构(8)：设置于安装底板(1)的上表面左侧，驱动机构(8)的上端与升降台(7)螺纹连接；

探针安装机构(9)：均匀分布于升降台(7)的上表面内侧；

其中：还包括下滑座(2)，所述下滑座(2)滑动连接于安装底板(1)的上表面中部，下滑座(2)的上表面滑动连接有上滑座(3)，上滑座(3)的上表面中部开设有置物槽(4)，置物槽(4)的内部设有吸盘(5)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用探针平台，其特征在于：所述驱动机构(8)包括丝杆(81)、第一齿轮(82)和第三齿轮(84)，所述丝杆(81)转动连接于安装底板(1)的上表面左侧，丝杆(81)的上端与升降台(7)左端开设的螺纹孔螺纹连接，第一齿轮(82)和第三齿轮(84)均设置于丝杆(81)的下端，第一齿轮(82)位于第三齿轮(84)的上方。

3.根据权利要求2所述的一种半导体检测用探针平台，其特征在于：所述驱动机构(8)还包括第二齿轮(83)、第四齿轮(85)和安装柱(86)，所述安装柱(86)设置于安装底板(1)的上表面左侧，第二齿轮(83)和第四齿轮(85)均转动连接于安装柱(86)的外弧面上端，第二齿轮(83)与第一齿轮(82)啮合连接，第四齿轮(85)与第三齿轮(84)啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体检测用探针平台，其特征在于：所述探针安装机构(9)包括固定座(91)、圆座(92)、安装杆(93)和探针(95)，所述固定座(91)均匀分布于升降台(7)的上表面内侧，圆座(92)分别转动连接于固定座(91)的上端，安装杆(93)分别通过转轴转动连接于圆座(92)的上端开口内，探针(95)分别插接于安装杆(93)的内端。

5.根据权利要求4所述的一种半导体检测用探针平台，其特征在于：所述探针安装机构(9)还包括配重块(94)，所述配重块(94)分别螺纹连接于安装杆(93)的中部。

6.根据权利要求1所述的一种半导体检测用探针平台，其特征在于：还包括第一螺杆(10)，所述第一螺杆(10)转动连接于下滑座(2)的中部安装槽内，上滑座(3)下端的凸块与第一螺杆(10)螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体检测用探针平台，其特征在于：还包括固定块(11)和第二螺杆(12)，所述固定块(11)设置于安装底板(1)的上表面右侧，第二螺杆(12)转动连接于下滑座(2)的右侧面中部，第二螺杆(12)的右端与固定块(11)右侧面上端设置的螺纹孔螺纹连接。