[实用新型]一种探针卡用清洗装置有效

专利信息
申请号: 202121579392.3 申请日: 2021-07-12
公开(公告)号: CN215031526U 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 徐四九 申请(专利权)人: 嘉兴威伏半导体有限公司
主分类号: B08B1/04 分类号: B08B1/04;B08B5/04;B08B13/00
代理公司: 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 代理人: 侯兰玉
地址: 314200 浙江省嘉兴市平*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 探针 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种探针卡用清洗装置,包括底座(1),其特征在于,在所述底座(1)上固定连接有一支杆(2),在支杆(2)上上下滑动连接有一安装杆(3),在安装杆(3)上设有一清理机构(4),在所述底座(1)上固定连接有一放置台(5),在所述放置台(5)两侧均固定连接有一内部呈中空设置的吸尘块(6),在吸尘块(6)靠近另一个吸尘块(6)的一侧侧壁上开设有若干个吸尘孔(7),在所述吸尘块(6)上固定连接有一吸尘管(8),在吸尘管(8)一端上固定连接有一抽风机(9)。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡用清洗装置,其特征在于,在所述吸尘块(6)上表面上开设有一清理孔(10),在清理孔(10)内壁上转动连接有一封闭板(11),在所述封闭板(11)侧壁上固定连接有橡胶球(12),封闭板(11)通过橡胶球(12)抵接在清理孔(10)内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种探针卡用清洗装置,其特征在于,在所述吸尘块(6)内壁上安装有一安装框(13),在安装框(13)内壁上固定连接有一过滤网(14),所述吸尘孔(7)和吸尘管(8)分别位于过滤网(14)的两侧。

4.根据权利要求3所述的一种探针卡用清洗装置,其特征在于,在所述吸尘块(6)内壁底面上固定连接有一U型块(15),在U型块(15)内壁上开设有一安装槽(16),所述安装框(13)插接在安装槽(16)中。

5.根据权利要求4所述的一种探针卡用清洗装置,其特征在于,在所述安装框(13)两侧侧壁上均固定连接有一橡胶条(17),橡胶条(17)截面呈半圆形设置,安装框(13)通过橡胶条(17)抵紧在安装槽(16)内壁上。

6.根据权利要求1所述的一种探针卡用清洗装置,其特征在于,在所述吸尘块(6)和放置台(5)之间设有一连接机构(18),所述连接机构(18)包括开设在放置台(5)上的连接槽(19)、开设在连接槽(19)两侧内壁上的滑动槽(20)、固定连接在吸尘块(6)两端端面上的滑动块(21)和设置在放置台(5)上用于将吸尘块(6)锁紧在连接槽(19)中的锁紧件(22),所述连接槽(19)一侧与外界连通,所述连接槽(19)的上端与外界连通,所述滑动块(21)滑动连接在滑动槽(20)中。

7.根据权利要求6所述的一种探针卡用清洗装置,其特征在于,所述锁紧件(22)包括固定连接在放置台(5)侧壁上的锁紧杆(23)和转动连接在锁紧杆(23)上的锁紧板(24)和固定连接在锁紧板(24)上的橡胶垫(25),所述锁紧板(24)通过橡胶垫(25)抵紧在吸尘块(6)。

8.根据权利要求1所述的一种探针卡用清洗装置,其特征在于,所述吸尘孔(7)呈缩口设置。

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