[实用新型]蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模

说明书

本实用新型涉及蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模。蒸镀掩模中间体由金属制的片材形成，具备：带状部，包括边缘和掩模部，该边缘具有第一及第二长边和第一及第二短边，该掩模部具备多个掩模孔；框状部，包围上述带状部；以及连结部，位于带状部与框状部之间，将带状部中的至少第一短边与框状部连结。带状部具备脆弱线、线段及切取区域。脆弱线的两端与第一短边连接，脆弱线形成为具有从上述第一短边朝向上述第二短边的突出状的线状，线段是第一短边之中被脆弱线的两端夹着的部分。切取区域由线段及脆弱线包围，且包含线段和脆弱线，蒸镀掩模中间体具备在切取区域内与包围切取区域的边缘的一部分连接的贯通孔。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模。

背景技术

在形成有机EL器件所具备的显示元件时，使用真空蒸镀。在真空蒸镀中，为了形成具有显示元件所要求的规定形状的层，使用蒸镀掩模。蒸镀掩模具有由金属制的片材形成的带状。蒸镀掩模具有一对短边，在蒸镀掩模被使用之前，各短边具备切口，该切口具有朝向另一方的短边凹陷的形状。在蒸镀掩模的使用时，蒸镀掩模以各短边被朝向远离与该短边不同的短边的方向拉动的状态，安装于掩模框架(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：国际公开第2020/050398号

然而，蒸镀掩模是通过对金属制的片材进行湿式蚀刻而形成的。此时，在用于制造蒸镀掩模的金属制的片材中，在与蒸镀掩模的切口对应的部分形成有贯通孔。与切口对应的贯通孔的面积大于在蒸镀掩模上形成的其他贯通孔的面积。因此，金属制的片材中的与切口对应的部分与更多的蚀刻液接触，因此容易在金属制的片材与形成在片材上的抗蚀掩模之间产生蚀刻液的汇集，或者蚀刻的进展容易被蚀刻液的流速影响。作为其结果，在与蒸镀掩模的切口对应的部分，通过图案形成得到的形状的精度容易降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供能够提高通过图案形成得到的形状的精度的蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模。

一方式提供一种蒸镀掩模中间体。蒸镀掩模中间体由金属制的片材形成。具备：带状部，包括边缘和掩模部，该边缘具有第一及第二长边和第一及第二短边，该掩模部具备多个掩模孔；框状部，包围上述带状部；以及连结部，位于上述带状部与上述框状部之间，将上述带状部中的至少上述第一短边与上述框状部连结。上述带状部具备脆弱线、线段及切取区域。上述脆弱线的两端与上述第一短边连接，上述脆弱线形成为具有从上述第一短边朝向上述第二短边的突出状的线状。上述线段是上述第一短边中被上述脆弱线的两端夹着的部分。上述切取区域由上述线段及上述脆弱线包围，且包含上述线段和上述脆弱线。上述蒸镀掩模中间体具备在上述切取区域内与包围上述切取区域的边缘的一部分连接的贯通孔。

在上述蒸镀掩模中间体中也可以为，上述贯通孔具备第一端部和第二端部，并具有从上述第一端部朝向上述第二端部延伸的形状，上述第一端部与上述线段连接，上述第二端部与上述脆弱线连接。

在上述蒸镀掩模中间体中也可以为，上述脆弱线具有大致U字状，上述贯通孔具有沿着上述长边延伸的带状。

在上述蒸镀掩模中间体中也可以为，上述第一端部在上述第一短边延伸的方向上将上述线段的长度平分，上述第二端部将上述脆弱线的长度平分。

在上述蒸镀掩模中间体中也可以为，在上述第一短边延伸的方向上，上述第一端部的长度与上述第二端部的长度的总和为第一长度，上述线段的长度与上述脆弱线的长度的总和为第二长度，上述第二长度长于上述第一长度。

在上述蒸镀掩模中间体中也可以为，上述贯通孔具有将上述切取区域中最接近上述第二短边的位置与上述框状部中与上述第一短边对置的位置连结的带状。

另一方式提供一种蒸镀掩模。蒸镀掩模具有带状。蒸镀掩模具备：边缘，具有一对长边及一对短边；以及掩模部，具备多个掩模孔。各短边包括具有朝向另一个上述短边凹陷的U字状的切口。上述切口在上述U字状的弯曲部即底部的至少一部分具有切断痕。

附图说明