[实用新型]一种靶材邦定用智能化超声波涂铟装置

说明书

本实用新型提供一种靶材邦定用智能化超声波涂铟装置。所述靶材邦定用智能化超声波涂铟装置包括金属化装置本体，所述金属化装置本体包括外加热套、超声波发生器、机架和丝杆驱动电机，所述丝杆驱动电机的顶部固定安装有固定板，所述固定板上开设有安装口，所述安装口内贯穿安装有吸附管，所述吸附管延伸至所述外加热套内并固定安装有多个吸附头，所述外加热套的下方设置有高效除尘箱和风机，所述高效除尘箱的进口与所述风机的出风端相连通，所述风机的进风端上设置有连通软管，所述连通软管的进风端与所述吸附管相连通。本实用新型提供的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置具有能够对加工空间进行吸除杂质、降低对产品影响的优点。

技术领域

本实用新型涉及靶材邦定涂铟装置技术领域，尤其涉及一种靶材邦定用智能化超声波涂铟装置。

背景技术

靶管的种类是多样的，有金属管(钼靶管、钨靶管、铝靶管)和陶瓷管(ITO靶材、氧化铝靶材以及碳化硅靶材等等)，由于靶管和内衬管材质不同，靶管和钎料属于不同材质，靶管与钎料润湿性不够的情况下，易产生与钎料的脱落，从而导致靶材使用过程中的导电性不好，导热性能差，甚至出现靶材开裂等情况。

目前采用的靶管金属化的方法，是采用人工手持超声波涂铟机头，进行涂铟的方法，导致涂铟厚度不均匀，工人劳动强度较大，工人熟练程度要求较高。

中国实用新型专利201820245968.4公开了一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置，通过内加热装置以及超声波发生器配合，对靶材绑定背管进行金属化超声加工，提高靶材绑定层与背管的粘接强度，提高焊合率。但是该装置仅适用于背管外圆金属化，并不适用于靶管的内圆金属化。

经检索，中国实用新型专利201921738190.1公开了一种靶材绑定用靶管金属化装置，包括超声波发生器和电机，还包括有旋转套、外加热套、丝杆和滑套，所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机I和用于带动丝杆旋转的电机II，所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承安装在旋转套上，另一端通过连接件与电机II的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，所述超声波发生器通过连杆连接在滑套的下方；所述旋转套通过连接套与电机I的转轴连接。虽然其涂铟厚度一致，自动化水平高，有效解决了人工涂铟方式中存在的涂铟不均匀，工人劳动强度大，对工人熟练程度要求高的情况，从而有效的提高工作效率，提高靶材绑定贴合率以及贴合强度。

然而其在使用前未能够对该装置内部进行清理，导致在涂铟是容易受到杂质的影响，从而影响生产的产品质量。

因此，有必要提供一种新的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种具有能够对加工空间进行吸除杂质、降低对产品影响的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置包括：金属化装置本体，所述金属化装置本体包括外加热套、超声波发生器、机架和丝杆驱动电机，所述丝杆驱动电机的顶部固定安装有固定板，所述固定板上开设有安装口，所述安装口内贯穿安装有吸附管，所述吸附管延伸至所述外加热套内并固定安装有多个吸附头，所述外加热套的下方设置有高效除尘箱和风机，所述高效除尘箱的进口与所述风机的出风端相连通，所述风机的进风端上设置有连通软管，所述连通软管的进风端与所述吸附管相连通，所述固定板和所述吸附管上设置有驱动机构，所述连通软管上设置有收管装置，所述收管装置与对应所述机架相连接。

优选的，所述驱动机构包括两个轨道、两个定位片、齿条、马达和齿轮，两个所述轨道分别固定安装在所述吸附管的两侧，两个所述定位片分别固定安装在所述安装口的两侧内壁上并分别与两个所述轨道滑动连接，所述齿条固定安装在所述吸附管的底部，所述马达固定安装在所述固定板的一侧，所述马达位于所述齿条的下方，所述齿轮固定安装在所述马达的输出轴上，所述齿轮与所述齿条相啮合。