[实用新型]一种便于清洁的晶圆检测装置

权利要求书

1.一种便于清洁的晶圆检测装置，包括检测主体(1)，其特征在于：所述检测主体(1)的内壁下端边缘位置开设有流水槽(2)，所述检测主体(1)的内壁四周设置有排水管(3)，所述排水管(3)的一侧外表面设置有喷头(4)，所述检测主体(1)的内壁位于排水管(3)的上端位置设置有排风管(5)，所述检测主体(1)的上端中间位置设置有输送机构(6)，所述输送机构(6)的上端外表面设置有固定机构(7)，所述检测主体(1)的前端左下角设置有水泵(8)，所述水泵(8)的前端外表面固定安装有送水管(9)，所述送水管(9)的前端外表面固定安装有加药管(10)，所述水泵(8)的右端外表面设置有吹风机(11)，所述检测主体(1)的前端右下方位置设置有放水管(12)，所述检测主体(1)的下端外表面连接有底座(13)，所述底座(13)的内壁四周位置设置有橡胶条(15)，所述底座(13)的内部中间位于橡胶条(15)的下方位置固定安装有钢筋网(16)，所述钢筋网(16)的下端外表面设置有弹簧(17)，所述弹簧(17)的上下两端均固定安装有橡胶垫(18)。

2.根据权利要求1所述的一种便于清洁的晶圆检测装置，其特征在于：所述喷头(4)的数量为若干组，若干组所述喷头(4)位于排水管(3)的一侧呈列阵式排布，所述送水管(9)的一端与排水管(3)呈贯通式连接。

3.根据权利要求1所述的一种便于清洁的晶圆检测装置，其特征在于：所述水泵(8)的左端外表面安装有水源管(19)，所述水源管(19)与送水管(9)呈贯通式连接，所述送水管(9)与检测主体(1)呈贯穿式连接。

4.根据权利要求1所述的一种便于清洁的晶圆检测装置，其特征在于：所述加药管(10)和放水管(12)的一端均设置有控制阀(20)，所述加药管(10)的中部位于控制阀(20)的一侧位置固定安装哟加药斗(14)，所述放水管(12)与流水槽(2)呈贯通式连接。

5.根据权利要求1所述的一种便于清洁的晶圆检测装置，其特征在于：所述吹风机(11)与排风管(5)呈贯通式连接，所述吹风机(11)的空气流通端位于检测主体(1)的外表面。

6.根据权利要求1所述的一种便于清洁的晶圆检测装置，其特征在于：所述橡胶条(15)内径尺寸与检测主体(1)的下端外径尺寸相同，所述钢筋网(16)由若干组钢筋条组成。

7.根据权利要求1所述的一种便于清洁的晶圆检测装置，其特征在于：所述弹簧(17)的数量为若干组，若干组所述弹簧(17)均匀的分布在底座(13)与钢筋网(16)的中间位置，所述橡胶垫(18)的数量为两组，一组所述橡胶垫(18)位于钢筋网(16)的下端位置，另一组所述橡胶垫(18)位于底座(13)内壁上端。