[实用新型]一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置

说明书

本实用新型属于硅片技术领域，具体的说是一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置，包括壳体；所述壳体的内侧壁固接有排水板；所述排水板的内部开设有排水孔件；所述壳体的内部设有有过滤板件；所述过滤板件的顶端固接有一号滤渣件；通过一号导向件、二号导向件和三号导向件的配合可以把水导向一号导向件，通过一号导向件和二号过滤件和三号过滤件的配合，可以把使用后的清洗水进行过滤，再通过抽水泵的输出使水可以再次使用，从而可以节省水的浪费避免环境污染，通过过滤板件可以使水循环利用。

技术领域

本实用新型属于硅片技术领域，具体的说是一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗；微量污染也会导致器件失效；硅片清洗后的污水直接排放，浪费水又污染环境。

目前现有技术中，清洗过滤是利用清洗过后不清洁的水，当液体经过滤件过滤后，液体过滤干净，液体可以实现回收循环再使用，清洗设备将清洗后的污水直接排放，既浪费又易造成环境污染，在此我们提供一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置。

实用新型内容

为了弥补现有技术的不足，解决目前现有技术中，清洗过滤是利用清洗过后不清洁的水，当液体经过滤件过滤后，液体过滤干净，液体可以实现回收循环再使用，清洗设备将清洗后的污水直接排放，既浪费又易造成环境污染的问题，本实用新型提出的一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型所述的一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置，包括壳体；所述壳体的内侧壁固接有排水板；所述排水板的内部开设有排水孔件；所述壳体的内部设有有过滤板件；所述过滤板件的顶端固接有一号滤渣件；所述一号滤渣件的底端固接有一号导向件；所述一号导向件的底端固接有一号过滤件；所述一号过滤件的底端固接有二号导向件；所述二号导向件的底端固接有二号过滤件；所述二号过滤件的底端固接有三号导向件；所述三号导向件的底端固接有三号过滤件；所述过滤板件的内侧壁固接有固位件；所述固位件的中部固接有导水件；所述壳体的内部固接有抽水泵；所述抽水泵的顶端固接有水管件；所述壳体的内部固接有隔板件；从而可以节省水的浪费避免环境污染，通过过滤板件可以使水循环利用。

优选的，所述壳体的内部滑动安装有载体板件；所述载体板件的侧端固接有拆卸杆件；所述载体板件的侧端固接有一号磁铁；所述隔板件的内部固接有二号磁铁；通过拆卸杆件可以使载体板件方便的拆卸，进而方便对过滤板件进行维护工作。

优选的，所述壳体的内侧壁固接有滤渣网件；避免大型颗粒堵塞后续的过滤设备。

优选的，所述载体板件的内部固接有一号密封件；所述载体板件的内部固接有吸水件；可以把水吸入吸水件内，从而避免水的泄漏影响周围环境。

优选的，所述过滤板件的顶端固接有二号密封件；避免污水对二号磁铁和一号磁铁造成影响。

优选的，所述抽水泵的底端固接有二号滤渣件；二号滤渣件可以过滤水中的杂质，避免抽水泵长期的工作被杂质堵塞。

本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型提供一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置，通过一号导向件、二号导向件和三号导向件的配合可以把水导向一号导向件，通过一号导向件和二号过滤件和三号过滤件的配合，可以把使用后的清洗水进行过滤，再通过抽水泵的输出使水可以再次使用，从而可以节省水的浪费避免环境污染，通过过滤板件可以使水循环利用。

2.本实用新型提供一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置，通过一号磁铁和二号磁铁的磁吸作用固定载体板件的位置，载体板件通过拉动拆卸杆件可以使载体板件进行滑动，从而方便对载体板件进行拆卸，进而方便对过滤板件进行维护工作。

附图说明