[实用新型]一种真空镀膜机的抽气机构有效

专利信息
申请号: 202121665366.2 申请日: 2021-07-21
公开(公告)号: CN215560648U 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 何清;郭琪;曹作川 申请(专利权)人: 成都金典真空设备有限责任公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 成都信捷同创知识产权代理事务所(普通合伙) 51323 代理人: 左正超
地址: 610100 四川省成都市龙泉*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 抽气机
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜机的抽气机构,其特征在于,包括:镀膜机主体;

所述镀膜机主体底部设置有支撑架,镀膜机主体内部设置有真空腔室;镀膜机主体的一侧开设有抽气管道,且抽气管道内开设有排气孔,并且排气孔与真空腔室相连接;

真空腔室内壁顶部固定安装有固定座;抽气管道的开口处设置有出气管。

2.如权利要求1所述一种真空镀膜机的抽气机构,其特征在于:所述固定座内部呈贯穿式中空状;固定座还包括有:

过滤网,过滤网设置在固定座内,且过滤网的前端左右两侧开设有连接孔;

固定板A,固定板A共设有两个,且两个固定板A上均开设有滑动凹槽,并且两个固定板A对称固定设置在过滤网上。

3.如权利要求2所述一种真空镀膜机的抽气机构,其特征在于:所述固定座还包括有:

滑动杆,滑动杆滑动连接在两个固定板A上,且滑动杆上呈矩形阵列状设置有刷毛,并且刷毛与过滤网相接触;

固定外壳A,固定外壳A共设有两个,且两个固定外壳A内部呈中空状,并且两个固定外壳A分别设置在过滤网的底部左右两端;卡块,卡块呈柱形块状结构,卡块共设有两个,且两个卡块分别滑动连接在两个固定外壳A内,并且两个卡块分别与两个连接孔相吻合;

拉杆,拉杆共设有两个,且两个拉杆分别与两个卡块相连接,并且两个拉杆上均套接有复位弹簧;固定座的上方设置有连接座。

4.如权利要求3所述一种真空镀膜机的抽气机构,其特征在于:所述连接座固定设置在抽气管道内的排气孔处,且连接座的沿边处设置有密封圈A,并且连接座的沿边处呈阶梯槽状结构;连接座还包括有:

固定板B,固定板B共设有两个,且两个固定板B对称设置在抽气管道的内壁上,并且两个固定板B均开设有滑动凹槽。

5.如权利要求4所述一种真空镀膜机的抽气机构,其特征在于:所述连接座还包括有:

固定外壳B,固定外壳B固定设置在镀膜机主体顶部,且固定外壳B内部呈中空状,并且固定外壳B内螺纹连接有螺杆;伸缩杆,伸缩杆呈柱形杆状结构,伸缩杆滑动连接在固定外壳B内,且伸缩杆螺纹连接在螺杆上;

卡座,卡座的底部呈凸形状,且卡座的顶部与伸缩杆相连接,并且卡座的左右两端分别滑动连接在两个固定板B内;卡座与连接座相吻合。

6.如权利要求1所述一种真空镀膜机的抽气机构,其特征在于:所述出气管的前端呈阶梯槽状结构,出气管上设置有密封圈B,出气管的外壁上设置为螺纹状;出气管还包括有:密封垫A,密封垫A设置在出气管的前端处。

7.如权利要求6所述一种真空镀膜机的抽气机构,其特征在于:所述出气管还包括有:

密封盖,密封盖的前端呈阶梯轴状结构,密封盖与出气管相吻合,密封盖的外壁设置为螺纹状;

密封垫B,密封垫B设置在密封盖的前端处,且密封垫B与密封垫A共同组成了双层密封结构;密封环,密封环呈环形状结构,密封环的环形内侧设置为螺纹状,且密封环分别与出气管和密封盖的外壁螺纹连接。

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