[实用新型]一种管式PECVD设备及其镀膜腔加热装置

说明书

本实用新型公开一种管式PECVD设备及其镀膜腔加热装置，镀膜腔加热装置包括两组对称地设于石墨舟上下两侧的加热组件，使镀膜腔的热场温度更均匀，有利于石墨舟均匀受热。每组加热组件包括若干根沿线性均匀铺设于石墨舟表面的加热棒，使石墨舟的表面均匀受热，避免石墨舟因尺寸过大而受热不均匀。石墨舟均匀受热，可避免硅片色差过大，有利于提升镀膜质量。每根加热棒包括至少两根加热丝、包裹于全部加热丝外周的支撑套及填充于支撑套内并用于隔开相邻两根加热丝的绝缘体通过改变加热器的类型来提升其使用寿命，降低故障率，降低镀膜腔内的热场温度不均匀的风险，仍能提升镀膜质量。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种管式PECVD设备及其镀膜腔加热装置。

背景技术

管式PECVD设备通常利用射频电源放电电离工艺气体来实现镀膜，而镀膜是光伏电池生产的关键环节，因此管式PECVD设备的性能直接影响光伏电池的效率和产能。随着太阳能发电的普及，光伏电池的硅片尺寸越来越大，相应地，管式PECVD设备的镀膜腔体直径及腔内的石墨舟尺寸也随之增大，这对腔内热场温度的均匀性带来极大挑战。

现有管式PECVD设备的镀膜腔体内通常采用红外灯管加热器加热石墨舟，而石墨舟的尺寸过大，导致石墨舟受热不均匀，从而使硅片色差严重，影响镀膜质量。此外，红外灯管加热器的使用寿命较短且可靠性较低，镀膜过程中极易发生故障，导致腔体内在镀膜过程中的热场温度不均匀，仍影响镀膜质量。

因此，如何管式PECVD设备的镀膜腔加热装置以提升镀膜质量是本领域技术人员需解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种管式PECVD设备及其镀膜腔加热装置，通过优化加热组件的分布方式及每组加热组件内加热棒的分布方式，利用加热棒取代红外灯管加热器，确保石墨舟均匀受热，避免色差严重，有利于提升镀膜质量。

本实用新型所提供的管式PECVD设备的镀膜腔加热装置，包括两组对称地设于石墨舟上下两侧的加热组件，每组加热组件包括若干根沿线性均匀铺设于石墨舟表面的加热棒，每根加热棒包括：

至少两根加热丝；

包裹于全部加热丝外周的支撑套；

填充于支撑套内并用于隔开相邻两根加热丝的绝缘体。

优选的，每根加热丝呈螺旋状。

优选的，全部加热丝绕支撑套的中心线呈圆环状均匀分布。

优选的，每根加热棒包括固套于支撑套的电气接头。

优选的，绝缘体具体为镁粉绝缘体。

优选的，支撑套为金属套，每根加热棒还包括套设于支撑套外周的绝缘套。

本实用新型所提供的管式PECVD设备，包括上述任一项所述的镀膜腔加热装置。

相对于背景技术，本实用新型所提供的管式PECVD设备的镀膜腔加热装置，包括两组对称地设于石墨舟上下两侧的加热组件，确保加热组件均匀分布于镀膜腔内，使镀膜腔的热场温度更均匀，有利于石墨舟均匀受热。每组加热组件包括若干根沿线性均匀铺设于石墨舟表面的加热棒，加热棒的分布方式依据石墨舟的表面设定，使石墨舟的表面均匀受热，避免石墨舟因尺寸过大而受热不均匀。显然，通过优化加热组件的分布方式及每组加热组件内加热棒的分布方式，可使石墨舟均匀受热，避免硅片色差过大，有利于提升镀膜质量。

进一步地，本实用新型中的每根加热棒包括至少两根加热丝、支撑套及绝缘体，支撑套包裹于全部加热丝外周，绝缘体填充于支撑套内，用于隔开相邻两根加热丝，通过改变加热器的类型来提升其使用寿命，降低故障率，从而降低镀膜腔内的热场温度不均匀的风险，仍能提升镀膜质量。

综上所述，本实用新型所提供的管式PECVD设备的镀膜腔加热装置能够提升镀膜质量。