[实用新型]一种匀胶机用带收集漏胶防堵胶功能吸盘结构

说明书

本实用新型公开了一种匀胶机用带收集漏胶防堵胶功能吸盘结构，涉及匀胶机技术领域，包括旋转台、胶液收集盘、基片吸附盘和定位组件，所述旋转台的底部设置有匀胶机旋转组件。本实用新型中，通过胶液收集盘设计成凹槽结构，使得滴漏的胶液在离心力的作用下分散在凹槽四周，这样避免胶液直接进入电机内部损坏设备；其粘附在底座中避免胶液进入真空设备从而起到防护真空设备被胶液腐蚀损坏，通过设置旋转台与匀胶机旋转机构安装紧固，吸盘上的基片旋转更稳定，解决了现有的匀胶机在生产过程中因意外进入匀胶机内部，导致胶液粘附并堵塞狭小的气路管道的问题，实现了使基片在生产过程中有足够的真空吸附力保持平稳的高速旋转的效果。

技术领域

本实用新型涉及匀胶机技术领域，尤其涉及一种匀胶机用带收集漏胶防堵胶功能吸盘结构。

背景技术

匀胶机又称旋涂仪，它通过快速旋转基片，将基片表面的功能性胶液通过离心力展成为均匀的液膜，并将多余的胶液甩出。该类设备广泛应用于半导体光刻前道工序、太阳能电池和锂电池制造、显示器等行业。

匀胶机与基片的连接是通过强力真空吸附产生的压力提供的摩擦力实现。同时，真空吸力也会将工作环境内悬浮的胶质颗粒甚至是胶液吸入内部管路，日积月累导致管路狭窄，真空度下降，基片无法稳固吸附，或直接造成真空回路堵塞，设备故障停机。

实用新型内容

本实用新型提供一种匀胶机用带收集漏胶防堵胶功能吸盘结构，解决了现有的轴瓦因大多固定连接在轴承内，导致不方便维护或更换轴瓦的问题，实现了快速将轴瓦稳固定位轴承内和快速拆卸轴瓦的效果，同时可防止润滑油发生泄漏的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种匀胶机用带收集漏胶防堵胶功能吸盘结构，包括旋转台、胶液收集盘、基片吸附盘和定位组件；

所述旋转台的底部设置有匀胶机旋转组件，所述定位组件固定连接在旋转台的顶部，所述胶液收集盘与基片吸附盘均设置在定位组件的顶部，解决了现有的匀胶机在生产过程中因意外进入匀胶机内部，导致胶液粘附并堵塞狭小的气路管道的问题，实现了使基片在生产过程中有足够的真空吸附力保持平稳的高速旋转的效果，从而有效的提高了光刻胶涂覆的均匀度和平整度，有利于提高产品的质量，减少匀胶机故障率提高生产效率。

优选的，所述胶液收集盘和基片吸附盘均活动连接在定位组件的顶部，通过设置胶液收集盘和基片吸附盘为可拆卸结构，方便定期拆卸清理或者更换。

优选的，所述旋转台上活动套接有密封组件，所述密封组件的材质为橡胶，通过设置密封组件，可保证基片吸附盘下方为真空状态。

优选的，所述基片吸附盘的顶部对称开设有两个吸附孔，两个所述吸附孔的直径相同，且等间距。

优选的，所述匀胶机旋转组件上套设有支撑外壳，所述支撑外壳的底部活动套接有底座。

优选的，所述基片吸附盘为天然聚丙烯材质，通过设置基片吸附盘为天然聚丙烯材质，使得基片吸附盘耐腐蚀，从而有助于延长基片吸附盘的使用寿命。

优选的，所述胶液收集盘的形状呈“凹槽”形状，通过胶液收集盘设计成凹槽结构，使得滴漏的胶液在离心力的作用下分散在凹槽四周，这样避免胶液直接进入电机内部损坏设备；其粘附在底座中避免胶液进入真空设备从而起到防护真空设备被胶液腐蚀损坏。

优选的，所述支撑外壳的外表面涂抹有防腐涂，可耐腐蚀，从而有助于延长支撑外壳的使用寿命。

优选的，所述底座的底部设置有弹性垫，所述弹性垫的材质为软胶，可使底座具有缓冲能力，从而有助于减小震动力。

优选的，所述匀胶机旋转组件为圆柱筒体。

与相关技术相比较，本实用新型提供的一种匀胶机用带收集漏胶防堵胶功能吸盘结构具有如下有益效果：