[实用新型]一种太阳能电池背板基膜试验装置有效
申请号: | 202121682389.4 | 申请日: | 2021-07-22 |
公开(公告)号: | CN215988697U | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 刘勤学;杨正江;曾广武;万祥 | 申请(专利权)人: | 宁波勤邦新材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/66 |
代理公司: | 宁波甬恒专利代理事务所(普通合伙) 33270 | 代理人: | 罗继亮 |
地址: | 315700 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 背板 试验装置 | ||
1.一种太阳能电池背板基膜试验装置,包括一对在同一水平面上对称排布的X向直线导轨,其特征在于:
所述X向直线导轨在相对的侧面设置有X向滑移器,所述X向滑移器在相对的侧面固定连接有Y向直线导轨,所述Y向直线导轨的侧面设置有Y向滑移器;
所述Y向滑移器的左侧面固定连接有安装立板,所述安装立板的左侧面固定连接有Z向直线导轨,所述Z向直线导轨的侧面活动连接有Z向滑移器,所述Z向滑移器的左侧面固定连接有高度调节平台,所述高度调节平台设置有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的活动端延伸至高度调节平台的下方并固定连接有负压皮碗;
所述Y向滑移器的右侧面设置有气压传感器,所述Y向滑移器通过所述气压传感器固定连接有扇形气流喷嘴,所述Y向滑移器的下表面设置有高压气泵。
2.如权利要求1所述的太阳能电池背板基膜试验装置,其特征在于:所述X向直线导轨的左右两端固定连接有限位连接板。
3.如权利要求1所述的太阳能电池背板基膜试验装置,其特征在于:所述安装立板的左侧面且靠近上表面的位置通过固定环固定连接有气缸,所述气缸的活动端竖直向下并与所述Z向滑移器固定连接。
4.如权利要求1所述的太阳能电池背板基膜试验装置,其特征在于:所述Y向滑移器的上表面与所述安装立板的右侧面之间固定连接有楔形固定板。
5.如权利要求1所述的太阳能电池背板基膜试验装置,其特征在于:所述负压皮碗通过第一导气管与所述高压气泵的输入端连接,所述第一导气管与所述高压气泵的输入端之间设置有阀体。
6.如权利要求1所述的太阳能电池背板基膜试验装置,其特征在于:所述扇形气流喷嘴通过第二导气管与所述高压气泵的输出端连接,所述第二导气管与所述高压气泵的输出端之间设置有阀体。
7.如权利要求1所述的太阳能电池背板基膜试验装置,其特征在于:所述X向滑移器和Y向滑移器由伺服机构驱动。
8.如权利要求1所述的太阳能电池背板基膜试验装置,其特征在于:所述气压传感器、高压气泵、X向滑移器、Y向滑移器和电动伸缩杆与电脑的控制器之间电性连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造