[实用新型]一种发光二极管芯片结构及发光二极管有效
申请号: | 202121687345.0 | 申请日: | 2021-07-23 |
公开(公告)号: | CN215377431U | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 董国庆;文国昇;曹丹丹;李孟 | 申请(专利权)人: | 江西兆驰半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/38;H01L33/00;H01L33/44 |
代理公司: | 广东深宏盾律师事务所 44364 | 代理人: | 赵琼花 |
地址: | 330096 江西省南昌市南*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 发光二极管 芯片 结构 | ||
1.一种发光二极管芯片结构,其特征在于,所述发光二极管芯片结构的外延层包括N-GaN层和位于所述N-GaN层上方的P-GaN层,其中,P-GaN层两侧为MESA刻蚀区,所述P-GaN层上自下而上依次设置CBL电流阻挡层、ITO电流扩展层、PSV钝化层和NP电极结构层,所述NP电极结构层包括N电极和P电极,其中,所述MESA刻蚀区为平台结构,所述CBL电流阻挡层包括阻挡盘,所述ITO电流扩展层和MESA刻蚀区光刻图形在所述CBL电流阻挡层的阻挡盘上方开有小于所述阻挡盘直径的贯穿孔,所述P电极通过所述贯穿孔与所述P-GaN层接触。
2.根据权利要求1所述的发光二极管芯片结构,其特征在于,所述MESA刻蚀区与所述ITO电流扩展层开一道光刻。
3.根据权利要求1所述的发光二极管芯片结构,其特征在于,所述ITO电流扩展层表面溅射有ITO铟锡氧化物,其中,所述ITO铟锡氧化物的厚度为300至3000埃。
4.根据权利要求1所述的发光二极管芯片结构,其特征在于,所述CBL电流阻挡层为SiO2绝缘物,所述SiO2绝缘物的厚度范围为1000至5000埃。
5.根据权利要求1所述的发光二极管芯片结构,其特征在于,在位于所述CBL电流阻挡层上方的PSV钝化层图形中开若干个电流导通孔,使得所述P电极与所述ITO电流扩展层或者所述P-GaN层接触,所述N电极与所述N-GaN层接触。
6.根据权利要求5所述的发光二极管芯片结构,其特征在于,所述PSV钝化层表面沉积SiO2绝缘物,所述SiO2绝缘物的厚度范围为300至1000埃。
7.一种发光二极管,其特征在于,所述发光二极管包括如权利要求1至6任意一项所述的发光二极管芯片结构。
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