[实用新型]一种超声波扫查仪高质量成像装置

说明书

本实用新型公开了一种超声波扫查仪高质量成像装置，包括：水箱、超声波查扫机构、承载台、供水机构、液位检测机构、排水机构和电阻率检测头，水箱内存储有去离子水，供水机构与水箱的内部连通，供水机构用于向水箱内注入去离子水，液位检测机构安装于水箱内，液位检测机构用于检测水箱内的液面高度，排水机构与水箱的内部连通，排水机构内设置有电阻率检测头，承载台设置于水箱内，承载台上承载有待检测的芯片。通过对本实用新型的应用，提供了一种以去离子水作为超声波检测介质的芯片检测设备，降低了污染物以及其他离子等杂质混入去离子水中对检测结果带来的干扰，进一步地提高了芯片的检测效率和检测质量。

技术领域

本实用新型涉及芯片质量检测技术领域，尤其涉及一种超声波扫查仪高质量成像装置。

背景技术

目前，随着半导体芯片的快速发展，也带动了围绕芯片检测服务行业的发展。对于封装越来越小化的芯片而言，无损检测越来越重要。因此，超声波检测仪器得到了相应的应用，超声波对芯片进行检测的过程中几乎没有损伤。通过超声波的发射能够准确找到不同封装间的问题，例如常见的DIE与塑封体的分离，中间夹杂者空气，由于超声波遇空气全反射原理，有问题的地方，扫描出来的图片颜色会比较暗，并且除了遇到空气反射，遇到不同密度的材料也会发生部分反射，并导致最后超声波检测仪的成像十分混乱。因此，超声波虽然可以检测芯片的每一层的问题，但是仍然存在有较大的干扰，极大地影响了芯片质量的检测精准度，给检测人员带来了一定不必要的工作量。

实用新型内容

有鉴于此，为解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种超声波扫查仪高质量成像装置，包括：水箱、超声波查扫机构、承载台、供水机构、至少一液位检测机构、至少一排水机构和至少一电阻率检测头，所述水箱内存储有去离子水，所述供水机构与所述水箱的内部连通，所述供水机构用于向所述水箱内注入去离子水，所述液位检测机构安装于所述水箱内，所述液位检测机构用于检测所述水箱内的液面高度，所述排水机构与所述水箱的内部连通，所述排水机构内设置有所述电阻率检测头，所述承载台设置于所述水箱内，所述承载台上承载有待检测的芯片，所述超声波查扫机构的检测端伸入所述水箱内，所述超声波查扫机构用于对所述芯片进行检测。

在另一个优选的实施例中，还包括：控制主机和报警装置，所述控制主机设置于所述水箱的一侧，所述报警装置安装于所述控制主机上，所述报警装置、所述供水机构、所述排水机构、所述电阻率检测头和所述液位检测机构均与所述控制主机通信连接。

在另一个优选的实施例中，所述超声波查扫机构包括：移动架、X-Y双向移动机构和上超声波探头，所述X-Y双向移动机构的固定端固定安装于所述水箱的外侧，所述X-Y双向移动机构的移动端与所述移动架固定连接，所述X-Y双向移动机构用于驱动所述移动架移动至水平面上的任意一处，所述上超声波探头安装于所述移动架上，所述上超声波探头的检测端竖直向下设置，所述上超声波探头的检测端伸入至所述水箱的液面以下，所述上超声波探头的检测端可操作地设置于所述芯片的上方。

在另一个优选的实施例中，所述超声波查扫机构还包括：下超声波探头，所述移动架呈C字型结构设置，所述上超声波探头固定安装于所述移动架的上部，所述下超声波探头设置于所述移动架的下部，所述下超声波探头的检测端竖直向上设置且正对所述上超声波探头的检测端，所述上超声波探头的检测端与所述下超声波探头的检测端之间间隔有一定距离，所述下超声波探头可操作地设置于所述芯片的正下方。

在另一个优选的实施例中，所述供水机构包括：储水罐、出水管、供水泵和注入管，所述储水罐内存储有去离子水，所述储水罐与所述出水管连接，所述出水管与所述供水泵连接，所述供水泵与所述注入管连接，所述注入管与所述水箱内连通。

在另一个优选的实施例中，所述液位检测机构包括：容置筒、上液位传感器和下液位传感器，所述容置筒呈圆筒形结构，所述容置筒的轴线沿竖直方向设置，所述容置筒的下部向下延伸形成有一缩口管，所述容置筒伸入所述水箱设置，所述缩口管的内径小于所述容置筒的内径，所述上液位传感器设置于所述容置筒的内侧的上部，所述下液位传感器设置于所述容置筒的内侧的下部。