[实用新型]一种用于调节电子显微镜钨灯丝与栅极帽距离的装置

说明书

本实用新型提供了一种用于调节电子显微镜钨灯丝与栅极帽距离的装置，具体涉及电子显微镜检修与维护技术领域。该装置包括目镜和固定支架，目镜置于固定支架顶部的镜架中，表面设置有轮廓线，用于指导调整钨灯丝与栅极帽内壁之间的距离，镜架周向均匀设置有多个支撑腿，各支撑腿底部均设置有卡爪，支撑腿内侧设置有挡板，用于将固定支架与栅极帽相固定。本实用新型通过对钨灯丝进行准确定位，实现了对电子显微镜钨灯丝与栅极帽之间最佳距离的快速调整，无需实验人员具有装配经验且避免了装配过程中的反复调整，大幅度提高了电子显微镜的装配效率，有效保障了电子显微镜的成像质量。

技术领域

本实用新型涉及电子显微镜检修与维护技术领域，具体涉及一种用于调节电子显微镜钨灯丝与栅极帽距离的装置。

背景技术

目前，扫描电子显微镜作为一类大型精密仪器，已广泛应用于材料学、冶金工业、地质学、生物学及临床医学等技术领域，在微观形貌观察和元素分析方面起到了重要作用。钨灯丝作为扫描电子显微镜中热电子发射型电子枪的重要元器件，安装要求极其严格，安装过程中不仅需要保证电子显微镜钨灯丝的灯丝尖与固定盘的固定孔同心以及固定盘与对中圈同心，为了保证电子显微镜的成像质量，还需要调整钨灯丝进入栅极帽内的距离，通过调整钨灯丝进入栅极帽内的距离，使得钨灯丝的饱和点电流小于2.8A，此时钨灯丝亮度高且发射电流稳定，既能满足各种图像的放大要求，又能延长钨灯丝的使用寿命。

专利CN 110223900 A中公开了一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法，具体包括以下步骤：第一，通过控制对中调节螺丝的旋转角度，逐步缩小灯丝偏离栅极孔中心的幅度，防止调节过程中钨灯丝反复偏离中心，缩短了调节时间；第二，通过在体视显微镜工作台面设置定位圈，结合肉眼观察和手动定位，保证了栅极帽始终处于体视显微镜视场的中心位置，大幅度缩短了每次观察钨灯丝对中效果的操作时间；第三，通过量化和细化操作动作，实现了对钨灯丝的快速精准对中。但是，该专利公开的技术方案操作过程中需要借助体式显微镜以及带有特定图形的纸张或垫块，该操作过程完全依赖实验人员自身的操作经验，需要实验人员具有丰富的装配经验，若实验人员装配经验不足，则无法快速将伸入栅极帽内的钨灯丝调整至最佳距离处。

因此，亟需提出一种用于调节电子显微镜钨灯丝与栅极帽距离的装置，使得即使实验人员在缺乏装配经验的情况下，也能将伸入栅极帽内的钨灯丝调整至最佳位置处，实现对钨灯丝与栅极帽之间距离的快速调整。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决上述现有技术的不足，提供了一种用于调节电子显微镜钨灯丝与栅极帽距离的装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于调节电子显微镜钨灯丝与栅极帽距离的装置，包括目镜和固定支架；所述固定支架顶部设置有呈环状结构的镜架，沿镜架周向均匀设置有多个支撑腿，各支撑腿的底部均设置有卡爪；所述目镜嵌于镜架内部，目镜表面设置有轮廓线。

优选地，所述目镜为凸透镜。

优选地，所述目镜中心与设置于栅极帽顶面的中心孔相重合。

优选地，所述卡爪采用弹性材料制成。

优选地，所述弹性材料为弹性钢。

优选地，所述固定支架采用金属材料制成。

优选地，所述支撑腿内侧设置有挡板。

优选地，所述挡板与支撑腿焊接连接。

优选地，所述轮廓线用于指导调整钨灯丝与栅极帽内壁之间的距离。

优选地，所述支撑腿的数量不少于3个。

本实用新型所带来的有益技术效果：