[实用新型]射频匹配器的输出连接结构

说明书

本实用新型涉及射频匹配器技术领域，尤其涉及一种射频匹配器的输出连接结构,包括真空腔、匹配器、固定连接在真空腔上的输入铜排、固定连接在匹配器上的输出铜排；输入铜排和输出铜排的规格相同；输入铜排和输出铜排之间通过连接片连接，连接片的一端与输入铜排固定连接，另一端与输出铜排固定连接，输入铜排和输出铜排的长度范围在80～120mm，宽度范围在15～25mm，厚度范围在3～5mm，连接片的材质为紫铜，连接片分别与输入铜排、输出铜排通过螺栓连接。输入铜排和输出铜排采用紫铜材质的连接片连接，降低了射频功率损耗，连接片与铜排采用螺栓连接，固定不使用焊锡，耐高温，射频功率传输效率高，可靠性高，稳定性高。

技术领域

本实用新型涉及射频匹配器技术领域，尤其涉及一种射频匹配器的输出连接结构。

背景技术

目前，射频自动匹配器的输出大多采用射频连接头输出，射频匹配器与负载之间使用大约1.5米的射频线缆连接，由于实验室中一般不会连续工作超过8小时，此种接法在实验室中应用尚且不会出现明显的问题。

但是这种射频线缆连接负载的方式存在一些潜在的问题：一是射频线缆不能承受超过200℃的高温，二是射频线缆存在一定射频功率损耗。当射频电源和射频自动匹配器应用于24小时的生产线时，射频匹配器与负载连接的射频线缆以及射频连接头经常因过热而烧坏。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种射频匹配器的输出连接结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

射频匹配器的输出连接结构，包括真空腔、匹配器、固定连接在真空腔上的输入铜排、固定连接在匹配器上的输出铜排；所述输入铜排和所述输出铜排的规格相同；所述输入铜排和所述输出铜排之间通过连接片连接，所述连接片的一端与所述输入铜排固定连接，另一端与所述输出铜排固定连接。

优选的，所述输入铜排和所述输出铜排的长度范围在80～120mm，宽度范围在15～25mm，厚度范围在3～5mm。

优选的，所述输入铜排和所述输出铜排的长度为100mm，宽度为20mm，厚度为4mm。

优选的，所述连接片的材质为紫铜，所述输入铜排与所述连接片通过输入铜排螺栓连接，所述输出铜排与所述连接片通过输出铜排螺栓连接。

优选的，所述输入铜排和所述输出铜排的外侧设置有屏蔽盒，所述屏蔽盒分别与所述真空腔、所述匹配器固定连接。

优选的，所述屏蔽盒的材质为铝合金。

本实用新型的有益效果是：

1、输入铜排和输出铜排采用紫铜材质的连接片连接，降低了射频功率损耗，连接片与铜排采用螺栓连接，固定不使用焊锡，耐高温，射频功率传输效率高，可靠性高，稳定性高。

2、输入铜排和输出铜排的外侧设有，材质为铝合金，可对输出点进行射频屏蔽，防止对外界造成干扰。

附图说明

图1为本实用新型提出的射频匹配器的输出连接结构的结构示意图。

图中：1-真空腔、2-匹配器、3-输入铜排、4-输出铜排、5-输入铜排螺栓、6-输出铜排螺栓、7-连接片、8-屏蔽盒。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1，射频匹配器的输出连接结构，包括真空腔1、匹配器2、固定连接在真空腔1上的输入铜排3、固定连接在匹配器2上的输出铜排4；