[实用新型]一种清理装置及单晶炉

说明书

本申请公开了一种清理装置及单晶炉，清理装置用于清理待清理面，其包括：支撑件，设置有开孔；若干个剥离元件，连接至所述支撑件的远离所述开孔一侧的外表面，所述剥离元件用于与所述待清理面相抵靠；伸缩机构，连接所述支撑件，所述伸缩机构驱动所述支撑件往复运动，以使所述剥离元件与所述待清理面相互摩擦。本申请的清理装置能够在单晶炉拉晶的同时及时清理副室内壁沉积的挥发物，保证拉晶过程中副室炉壁无挥发物掉落，可极大的提高单晶硅棒成晶率。

技术领域

本实用新型一般涉及单晶制造技术领域，具体涉及一种清理装置及单晶炉。

背景技术

随着光伏行业和半导体行业的发展，单晶硅的应用越来越广泛。在单晶硅棒生产中，由于熔硅和石英坩埚在高温下会产生SiO等挥发物，这些挥发物大部分会随着氩气的流动通过排气口被带出单晶炉，但仍有一部分挥发物会残留在热场部件和炉壁的表面，并随着拉晶时间的延长逐渐沉积；在拉晶后期一些沉积在热场部件和炉壁上的挥发物会掉落下来进入熔硅，将会导致单晶硅棒断线，对单晶硅棒的生产造成较大的损失。

在相关技术中，停止单晶炉的生产，对单晶炉的副室进行清理，将副室内壁的挥发物清理干净。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种清理装置及单晶炉。

本申请提供一种清理装置，用于清理待清理面，其包括：

支撑件，设置有开孔；

若干个剥离元件，连接至所述支撑件的远离所述开孔一侧的外表面，所述剥离元件用于与所述待清理面相抵靠；

伸缩机构，连接所述支撑件，所述伸缩机构驱动所述支撑件往复运动，以使所述剥离元件与所述待清理面相互摩擦。

作为可选的方案，还包括连接至所述支撑件的吸尘组件，所述吸尘组件包括抽气泵，所述抽气泵的抽气口朝向所述待清理面。

作为可选的方案，所述支撑件设置有空腔，所述支撑件的外表面上设置有若干个吸尘孔，各所述吸尘孔与所述空腔连通；

所述吸尘组件还包括与所述抽气泵连接的吸气管，所述吸气管至所述抽气泵的气路中设置有过滤器，所述吸气管与所述空腔连通。

作为可选的方案，所述空腔呈环形。

作为可选的方案，所述吸尘组件和所述伸缩机构连接至所述支撑件的同一侧。

作为可选的方案，若干个所述吸尘孔沿所述支撑件的轴线方向布置，形成吸尘孔列，若干个所述剥离元件沿所述支撑件的轴线方向布置，形成剥离元件列，多个所述吸尘孔列与多个所述剥离元件列间隔布置。

作为可选的方案，所述吸尘组件设置有若干个所述吸气管和若干个所述抽气泵，所述吸气管与所述抽气泵一一对应设置，若干个所述吸气管沿所述支撑件的周向均匀设置。

作为可选的方案，所述伸缩机构为多个，若干个所述伸缩机构沿所述支撑件的周向均匀设置。

作为可选的方案，所述伸缩机构为牵引机构，所述牵引机构包括牵引轴和缠绕于所述牵引轴的牵引线，所述牵引线一端连接至所述支撑件，所述牵引轴正转和反转以驱动所述支撑件往复运动。

作为可选的方案，所述剥离元件为刷毛，所述刷毛为碳纤维刷毛、石墨烯纤维刷毛、尼龙刷毛和莫来石纤维刷毛中的至少一种。

本申请还提供一种单晶炉，包括上述的清理装置。

本申请提出的清理装置能够在单晶炉拉晶的同时及时清理副室内壁沉积的挥发物，保证拉晶过程中副室炉壁无挥发物掉落，可极大的提高单晶硅棒成晶率；吸尘组件的设置，使得清理装置进一步具有吸收沉积物的作用，可将沉积粉尘带出单晶炉外，提升清除效果；该吸尘组件，结构简单，清除效果显著。

附图说明