[实用新型]一种大型石英坩埚的切边装置

权利要求书

1.一种大型石英坩埚的切边装置，包括切割台(1)，其特征在于：所述切割台(1)的内底壁固定安装有第一伺服电机(2)，所述第一伺服电机(2)的输出轴通过联轴器固定安装有第一转轴(3)，所述第一转轴(3)的一端表面贯穿并延伸至切割台(1)的上表面，所述第一转轴(3)的一端表面固定连接有三角卡盘本体(4)，所述切割台(1)的内底壁固定安装有呈矩形阵列分布的第二伺服电机(5)，多个所述第二伺服电机(5)的输出轴通过联轴器均固定安装有第二转轴(6)，多个所述第二转轴(6)的外表面均设置有螺纹；

所述第二转轴(6)的外表面设置有切边除尘装置，且切边除尘装置包括升降套(7)，多个所述升降套(7)的内壁均与所述第二转轴(6)的外表面螺纹套接。

2.根据权利要求1所述的一种大型石英坩埚的切边装置，其特征在于：多个所述升降套(7)的上表面均固定连接有防尘壳(71)，所述防尘壳(71)的下表面与所述切割台(1)的上表面接触，所述防尘壳(71)体的正面开设有观察窗，所述防尘壳(71)体的上表面开设有矩形口，所述矩形口的内壁通过合页铰接有盖板(72)，所述盖板(72)的上表面固定连接有把手。

3.根据权利要求1所述的一种大型石英坩埚的切边装置，其特征在于：所述切割台(1)的上表面固定连接有安装座，所述安装座的内壁固定安装有第三伺服电机(73)，所述第三伺服电机(73)的输出轴通过联轴器固定安装有第三转轴(74)，所述第三转轴(74)的一端外表面固定套接有切割刀盘(75)。

4.根据权利要求2所述的一种大型石英坩埚的切边装置，其特征在于：所述防尘壳(71)的一侧表面固定连接有除尘盒(76)，所述除尘盒(76)的内顶壁开设有呈矩形阵列分布的出气孔(77)，所述除尘盒(76)的内壁固定安装有吸风机(78)。

5.根据权利要求4所述的一种大型石英坩埚的切边装置，其特征在于：所述除尘盒(76)的内壁设置有活性炭过滤网(79)，所述除尘盒(76)的一侧表面开设有插口，所述插口的内壁活动插接有密封块(710)，所述除尘盒(76)的一侧内壁均固定连通有吸尘管(711)。

6.根据权利要求5所述的一种大型石英坩埚的切边装置，其特征在于：多个所述吸尘管(711)的一端表面均贯穿并延伸至防尘壳(71)的内部，多个所述吸尘管(711)的一端表面均固定连通有吸尘罩(712)。