[实用新型]一种用于处理三氟化氮电解气的超低温冷阱

权利要求书

1.一种用于处理三氟化氮电解气的超低温冷阱，其特征在于：包括U形管、冷阱柱、冷媒加热罐、循环泵和冷阱釜，所述冷阱柱的侧壁设有液氮进口和三氟化氮出气口，所述冷阱釜的侧壁设有冷媒出口、冷媒入口、冷氮气出口和冷氮气入口、以及三氟化氮进气口；

所述冷阱柱的内壁设置有折流板，所述折流板上形成有切口；所述U形管设置在所述冷阱柱的内腔，并与所述液氮进口连通；所述冷媒出口和冷媒入口之间串接冷媒加热罐，所述冷媒加热罐和冷媒入口之间设置循环泵；所述冷阱釜的内腔设置分别连接所述冷媒出口和冷媒入口、及连接所述冷氮气入口和冷氮气出口的盘管；所述冷阱柱设置在所述冷阱釜上，两者的内腔连通，所述冷阱柱的侧壁与所述冷氮气入口连通。

2.根据权利要求1所述的用于处理三氟化氮电解气的超低温冷阱，其特征在于：所述冷阱柱的内壁并位于轴线的两侧均匀分布有所述折流板，所述折流板沿所述冷阱柱的轴线采用非对称且交错分布。

3.根据权利要求2所述的用于处理三氟化氮电解气的超低温冷阱，其特征在于：所述折流板上切口面积占折流板的总面积比例范围为10％～40％。

4.根据权利要求2所述的用于处理三氟化氮电解气的超低温冷阱，其特征在于：所述冷阱柱轴线同一侧的相邻折流板之间的间距为150mm～400mm。

5.根据权利要求1所述的用于处理三氟化氮电解气的超低温冷阱，其特征在于：所述冷阱柱的外表面设置有夹套。

6.根据权利要求1所述的用于处理三氟化氮电解气的超低温冷阱，其特征在于：所述冷阱釜的外壁设置有温度计。

7.根据权利要求1所述的用于处理三氟化氮电解气的超低温冷阱，其特征在于：所述U形管的换热面积为35m²～40m²。

8.根据权利要求1所述的用于处理三氟化氮电解气的超低温冷阱，其特征在于：所述冷阱柱的侧壁设有抽真空口。