[实用新型]一种在线式超纯流体加热器

说明书

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种在线式超纯流体加热器，包括加热器本体，所述加热器本体的中部设置有外壳，所述外壳的内部设置有石英薄膜发热体，所述石英薄膜发热体的外表面设置有导电薄膜，所述导电薄膜的上下两侧位于所述石英薄膜发热体的外表面套接有汇流条，所述汇流条的外侧套接有加热元件接线端，所述外壳的上表面安装有进出水管道。将导电材料沉积在石英薄膜发热体的外表面，形成导电薄膜，石英薄膜发热体通过加热元件接线端进行电源的引入，能够在整个石英薄膜发热体的外侧的导电薄膜上均匀稳定的发热，当电气部分产生故障时，导电薄膜无法损坏熔融石英制成的石英薄膜发热体，从而能保证制程流体的超高纯度。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体是一种在线式超纯流体加热器。

背景技术

在半导体行业、医疗设备制造行业中，保持流体介质的超高纯度是一种非常重要的工艺，许多这些过程需要运输和加热去离子水、酸和其他化学品，所谓清洁或超纯是指气体或液体不能渗入、进入或离开管道系统，产生超过允许水平的污染物，其他行业可能需要百万分之一的纯度，而半导体行业可能需要万亿分之一的纯度。

但是，传统的浸入式加热器将加热元件(通常包裹在涂层中)直接放入制程流体中，然后将加热元件和过程流体包含在套管内，浸入式加热器中的温度瞬变可能会使套管过热达到熔点，套管的故障可能直接导致制程流体的金属或其他污染。

实用新型内容

针对现有的问题，本实用新型提供一种在线式超纯流体加热器，该装置组件包括石英薄膜发热体、导电薄膜、汇流条配合使用可以有效的解决背景技术中提出的问题。

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种在线式超纯流体加热器，包括加热器本体，所述加热器本体的中部设置有外壳，所述外壳的内部设置有石英薄膜发热体，所述石英薄膜发热体的外表面设置有导电薄膜，所述导电薄膜的上下两侧位于所述石英薄膜发热体的外表面套接有汇流条，所述汇流条的外侧套接有加热元件接线端，所述外壳的上表面安装有进出水管道，所述进出水管道的上端安装有进出水接头，所述进出水管道的外侧设置有传感器底座，所述传感器底座的侧表面设置有液位传感器。

作为本实用新型再进一步的方案：所述石英薄膜发热体与所述加热器本体之间设置有温度传感器，所述温度传感器的下方位于设置有超温传感器，所述温度传感器以所述石英薄膜发热体的中心为轴线对称设置有超温熔断器，所述外壳的下表面安装有漏液传感器，所述超温熔断器、所述温度传感器及所述超温传感器的端部位于所述外壳的侧表面均设置有数据线接头。

作为本实用新型再进一步的方案：所述外壳的内侧壁设置有硬质保温层，所述硬质保温层的内侧设置有柔质保温层，所述石英薄膜发热体的端部安装有密封圈，所述密封圈与所述加热器本体之间安装有密封件。

作为本实用新型再进一步的方案：所述汇流条与所述导电薄膜电性连接，所述进出水管道与所述外壳贯通连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述超温熔断器、所述温度传感器及所述超温传感器均与所述数据线接头电性连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述硬质保温层及所述柔质保温层均位于硅酸铝材质构件，所述密封件与所述密封圈均与所述石英薄膜发热体固定连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述加热元件接线端与所述导电薄膜电性连接，所述进出水接头与所述进出水管道贯通连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、石英薄膜发热体外侧存在一个环形空间，该空间被硅酸铝纤维的柔性保温层填充，以确保发热体的热量能够充分传导至被加热的制程流体，同时保证外壳表面处于一个相对低的温度，外壳与柔性保温层之间存在一个硬质保温层，进一步提高整个加热腔内部的保温效果，提高装置的抗压、抗折强度等。