[实用新型]一种具有内部支撑结构的管式加热炉体

说明书

本实用新型涉及管式加热炉领域，具体公开了一种具有内部支撑结构的管式加热炉体，包括炉体外壳，所述炉体外壳的内部设置有主控段，所述主控段的一侧位于炉体外壳的内部设置有分控段，所述主控段及所述分控段的内侧设置有石英管，所述石英管的外侧位于所述炉体外壳的内部套接有加热丝，所述主控段与所述分控段之间安装有内部支撑环。通过在炉体外壳的内部设置的内部支撑环，避免了因石英管变形导致故障，由于炉体头尾端面存在端口保温圈，端口保温圈也可以当做额外的两个支撑点，因此加热炉内部存在的支撑点用于支撑整个石英管和内部的物料，从避免了长时间使用导致石英管下塌的问题。

技术领域

本实用新型涉及管式加热炉领域，具体是一种具有内部支撑结构的管式加热炉体。

背景技术

许多产品在生产制造中需要在加热炉中进行热处理工艺。例如在半导体晶圆制造，光伏电池片的镀膜、扩散、氧化，金属材料的退火等工艺，在半导体晶圆生产中，随着晶圆尺寸变大，单管批处理量增加，管式加热炉体的尺寸也变得更长，作为工艺腔体的石英管也变得更长，石英管在长期高温下承载炉内大批量的的硅片下，如果只有头尾端面支撑的话，石英管会在炉体中心位置下塌变形，最终导致石英管的破损，通常的做法是在石英管下方增加若干类似瓦片状的支撑结构，来保持石英管不发生形变。

但是，但是承载瓦片为硬质硅酸铝纤维材质，是一种保温隔热材料，长期使用会让承载瓦下部分的加热丝无法得到良好的散热，表面温度高于炉内其他未被覆盖的部分，从而导致加热丝的加速老化与形变，当相邻的两根加热丝接触时，还会造成短路，导致加热丝熔断，损坏整个管式加热炉。

实用新型内容

针对现有的问题，本实用新型提供一种具有内部支撑结构的管式加热炉体，该装置组件包括内部支撑环、端口保温圈配合使用可以有效的解决背景技术中提出的问题。

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种具有内部支撑结构的管式加热炉体，包括炉体外壳，所述炉体外壳的内部设置有主控段，所述主控段的一侧位于炉体外壳的内部设置有分控段，所述主控段及所述分控段的内侧设置有石英管，所述石英管的外侧位于所述炉体外壳的内部套接有加热丝，所述加热丝的外侧套接有陶瓷安装块，所述主控段与所述分控段之间安装有内部支撑环，所述炉体外壳的端部设置有端口封闭圈。

作为本实用新型再进一步的方案：所述加热丝的外侧贯穿所述炉体外壳的侧表面安装有接线柱，所述陶瓷安装块的内部安装有背丝孔。

作为本实用新型再进一步的方案：所述石英管的两端外侧位于所述炉体外壳的内部安装有端口保温圈，所述炉体外壳的内侧壁安装有保温垫层。

作为本实用新型再进一步的方案：所述主控段与所述分控段通过所述内部支撑环固定连接，所述端口封闭圈与所述炉体外壳卡接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述接线柱与所述加热丝通过焊接固定，所述冷却水管与所述炉体外壳贯通连接，所述背丝孔的内部安装有背丝。

作为本实用新型再进一步的方案：所述保温垫层为硅酸铝纤维材质构件，所述端口保温圈为为硬性定型的硅酸铝纤维结构。

作为本实用新型再进一步的方案：所述内部支撑环的外径尺寸长度与所述炉体外壳的内径尺寸长度相契合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过在炉体外壳的内部设置的内部支撑环，避免了因石英管变形导致故障，由于炉体头尾端面存在端口保温圈，端口保温圈也可以当做额外的两个支撑点，因此加热炉内部存在的支撑点用于支撑整个石英管和内部的物料，从避免了长时间使用导致石英管下塌的问题。

2、同时由于加热丝表面不存在支撑石英管的支撑瓦片结构，因此加热丝可以很好的散热，能够长期正常稳定工作不变形，增加了整个加热炉体的使用寿命，避免了加热炉因石英管损坏或者加热丝变形短路熔毁的故障。

附图说明