[实用新型]一种石英坩埚样品检测炉

说明书

本实用新型涉及一种石英坩埚样品检测炉，包括炉体，所述的炉体上开设有炉膛，所述的炉体的炉膛口出设置有用于打开或关闭炉膛的膛门组件，所述的炉膛的内壁上设置有加热组件，所述的所述炉膛内设置有放置石英坩埚并驱动其转动的转动组件，所述的炉体的一侧设置有将炉膛内抽真空的抽气组件，通过设置加热组件、转动组件以及抽气组件，抽气组件能够通过将炉膛内的气体抽出，使其内部形成真空，由于石英坩埚样品的透明层内存在微气泡，在加热使用后存在膨胀的现象，则需要通过加热组件对石英坩埚的样品进行加热，使其在炉膛内模拟石英坩埚的使用过程，使透明层内的微气泡的膨胀，从而使工作人员能够根据微气泡数量判断石英坩埚样品的质量。

技术领域

本实用新型属于石英坩埚技术领域，涉及一种石英坩埚样品检测炉。

背景技术

石英坩埚是生产多晶硅铸锭和拉制单晶硅棒的过程中必不可少的专用工艺装备，是承载多晶硅或单晶硅的载体。石英坩埚在使用时要承载超过400kg的熔硅，同时还要承受1400-1600℃的高温，受热时间长达50小时左右。随着单晶技术的发展，石英坩埚直径越来越大，承重越来越重，受热时间也越来越长，一旦在拉制单晶硅棒的过程中石英坩埚出现质量问题，轻则会导致单晶无法正常拉制，重则硅熔液会从石英坩埚流出，损坏热场、烧坏单晶炉，甚至可能危及人身和财产安全。

因此需要在量产前对石英坩埚的样品进行高温检测，以保证石英坩埚的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种石英坩埚样品检测炉。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种石英坩埚样品检测炉，包括炉体，所述的炉体上开设有炉膛，所述的炉体的炉膛口出设置有用于打开或关闭炉膛的膛门组件，所述的炉膛的内壁上设置有加热组件，所述的所述炉膛内设置有放置石英坩埚并驱动其转动的转动组件，所述的炉体的一侧设置有将炉膛内抽真空的抽气组件。

通过设置加热组件、转动组件以及抽气组件，抽气组件能够通过将炉膛内的气体抽出，使其内部形成真空，由于石英坩埚样品的透明层内存在微气泡，在加热使用后存在膨胀的现象，则需要通过加热组件对石英坩埚的样品进行加热，使其在炉膛内模拟石英坩埚的使用过程，使透明层内的微气泡的膨胀，从而使工作人员能够根据微气泡数量判断石英坩埚样品的质量；转动组件能够放置石英坩埚样品并使其在加热过程中转动，使石英坩埚样品进行高温实验时使其表面受热均匀。

在上述的一种石英坩埚样品检测炉中，所述的转动组件包括转动连接于炉膛内腔的转动轴，所述的转动轴上设置有若干转轮，所述的转动轴的一端贯穿炉膛且固定连接有驱动电机。驱动电机转动带动转动轴转动，从而带动转动轴上的转轮转动，本装置转动组件设置有3个且呈倒三角设置，三个转动组件之间形成用于放置石英坩埚样品的放置部，当石英坩埚样品放置在放置部上时，其中一个转动组件转动便能够带动石英坩埚样品转动，从而能够使其余两个转动组件同步转动，使加热管在对石英坩埚样品进行高温实验时使其表面受热均匀。

在上述的一种石英坩埚样品检测炉中，所述的加热组件为设置在炉膛内腔侧壁的电热管。

在上述的一种石英坩埚样品检测炉中，所述的抽气组件包括设置在炉体一侧的真空泵，所述的真空泵与炉膛之间通过抽气管相连通。真空泵能够通过将炉膛内的气体抽出，使其内部形成真空，在烧制不同材料的石英坩埚样品时选择适宜的气氛烧结，有助于烧结过程，提高制品致密化程度。

在上述的一种石英坩埚样品检测炉中，所述的膛门组件包括外炉门和内炉门，所述的炉膛的出口处设置有用于安装内炉门的容纳腔，所述的内炉门位于容纳腔内且可打开或关闭炉膛，所述的外炉门转动连接于炉体且可打开或关闭容纳腔。通过设置外炉门和内炉门能够提高对炉膛内的保温性。

在上述的一种石英坩埚样品检测炉中，所述的炉体上还设置有用于固定外炉门的固定组件。