[实用新型]一种均匀析晶的铝纯化装置有效
申请号: | 202121738769.5 | 申请日: | 2021-07-28 |
公开(公告)号: | CN215560556U | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 广田二郎;大岩一彦;林智行;山田浩;中村晃;姚科科 | 申请(专利权)人: | 浙江最成半导体科技有限公司 |
主分类号: | C22B9/02 | 分类号: | C22B9/02;C22B21/06 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 高佳逸;胡红娟 |
地址: | 312000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 均匀 纯化 装置 | ||
1.一种均匀析晶的铝纯化装置,其特征在于,包括:
用于盛装熔融铝的坩埚;
用于插入所述坩埚内析出铝晶的冷却管,其侧壁设有隔热层;所述冷却管插入所述坩埚内析出铝晶时,所述熔融铝靠近液面区域对应于所述隔热层所在位置。
2.根据权利要求1所述的均匀析晶的铝纯化装置,其特征在于,所述坩埚外侧设有多套位于不同高度且分别独立控制用于调整坩埚内相应区域温度的控温组件。
3.根据权利要求1所述的均匀析晶的铝纯化装置,其特征在于,所述冷却管内穿设内管,所述内管底端开口靠近所述冷却管底部。
4.根据权利要求3所述的均匀析晶的铝纯化装置,其特征在于,所述冷却管、内管分别独立外接冷却气体供气装置。
5.根据权利要求3所述的均匀析晶的铝纯化装置,其特征在于,所述内管底端开口为喇叭形扩口结构。
6.根据权利要求1所述的均匀析晶的铝纯化装置,其特征在于,所述冷却管的底面为扩径的球形面。
7.根据权利要求1所述的均匀析晶的铝纯化装置,其特征在于,所述坩埚带有隔热盖,所述隔热盖上设有供所述冷却管穿过的通孔。
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