[实用新型]高纯气体椭圆球形腔体缓冲器

说明书

本实用新型公开了一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，其包括椭圆球形腔体、高纯气体进口和高纯气体出口；所述椭圆球形腔体设置于缓冲器内，用于缓冲通入的高纯气体；所述高纯气体进口设置于缓冲器上，且通过进口管道将高纯气体导入所述椭圆球形腔体底部；所述高纯气体出口设置于所述缓冲器顶部，用于气体的排出。本实用新型通过改进其内部结构和进出气体方式，在首次使用时提高高纯气体从下至上流动的过程中排除椭圆球形腔体中其它杂质气体的速度，缩短了高纯气体的初次置换时间，减少了高纯气体的浪费。

技术领域

本实用新型涉及于化工机械领域，具体涉及一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器。

背景技术

目前，现有高纯气体缓冲器采用的是内腔为圆柱体或立方体式的结构，采用这两种方法处理高纯气体初次置换时间长，浪费大量的高纯气体，从而导致成本高等缺点。为此，如何很好的使高纯气体的初次置换时间缩短，以及减少高纯气体的浪费成了亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，旨在解决的技术问题之一是：缩短高纯气体的初次置换时间，减少气体用量。

考虑到现有技术的上述问题，根据本实用新型公开的一个方面，本实用新型采用以下技术方案：

一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，其包括：

椭圆球形腔体，所述椭圆球形腔体设置于缓冲器内，用于缓冲通入的高纯气体；

高纯气体进口，所述高纯气体进口设置于缓冲器上，且通过进口管道将高纯气体导入所述椭圆球形腔体底部；

高纯气体出口，所述高纯气体出口设置于所述缓冲器顶部，用于气体的排出。

为了更好地实现本实用新型，进一步的技术方案是：

进一步地，所述进口管道将高纯气体导入所述椭圆球形腔体底部的管口与所述椭圆球形腔体的最低点的距离为所述进口管道的外径。

进一步地，所述椭圆球形腔体按长轴竖直、短轴水平的方式设置。

进一步地，所述高纯气体出口设置于所述椭圆球形腔体的最高点处。

进一步地，与所述高纯气体出口连接的出口管道的管口高于或者平于所述椭圆球形腔体的最高处。

进一步地，所述高纯气体进口设置于缓冲器中部。

进一步地，所述椭圆球形腔体内壁光滑。

进一步地，所述缓冲器由两个半椭圆球形焊接而成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果之一是：

本实用新型的一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，通过改进其内部结构和进出气体方式，可在首次使用时提高高纯气体从下至上流动的过程中排除椭圆球形腔体中其它杂质气体的速度，缩短了高纯气体的初次置换时间，减少了高纯气体的浪费等。

附图说明

为了更清楚的说明本申请文件实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术的描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是对本申请文件中一些实施例的参考，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的情况下，还可以根据这些附图得到其它的附图。

图1为根据本实用新型一个实施例的高纯气体椭圆球形腔体缓冲器的结构示意图。

其中，附图中的附图标记所对应的名称为：

1－椭圆球形腔体，2－高纯气体进口，3－进口管道，4－高纯气体出口，5－焊缝。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型作进一步地详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。