[实用新型]一种晶圆化镀机多功能机械手

说明书

本实用新型涉及晶圆化镀机技术领域，公开了一种晶圆化镀机多功能机械手，包括：基板、滑动连接在所述基板上的滑座以及设置在所述滑座上的两根防护侧板；其中两根所述防护侧板的端部均通过销杆与滑座上面活动铰接，位于所述滑座上面中间位置固定有内螺纹管；两根所述防护侧板的下端部均安装有一个拉簧，且拉簧另一端与滑座上面固定。本实用新型在实际操作时即使防护侧板受到碰撞时，也会通过拉簧以及橡胶板进行缓冲，当碰撞力度较大时，也会通过防护侧板内壁上部的橡胶护垫会贴合在机械臂上形成进一步的缓冲作用，这种防护侧板的防护面积更大，防护效果更好，较为实用，适合广泛推广和使用。

技术领域

本实用新型涉及晶圆化镀机技术领域，具体为一种晶圆化镀机多功能机械手。

背景技术

晶圆化镀设备是半导体生产过程中常见的设备，为避免人手接触化学药剂受到伤害，晶圆化镀设备中通常设有用于抓取物料的机械手，通过机械手抓取物料进行移动。

经检索公告号CN 210325747 U公开一种晶圆化镀设备多功能机械手，虽然该实用新型的升降机构、抓取动力机构结构紧凑，需要占用的安装位置小，丝杠穿设在立管内部，提高了机械手整体的强度，设有防撞保护机构，可以减少机械手运行过程之中碰撞事故的发生概率，设有抓取检测机构，能够减少重复抓取物料或漏抓物料造成的损失。

但是经本发明人探索发现该技术方案仍然存在至少以下缺陷：

该技术方案中设置的钢丝对机械臂进行防护，由于钢丝的较细导致防护范围较小，缓冲效果有限，实用性较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆化镀机多功能机械手，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆化镀机多功能机械手，包括：基板、滑动连接在所述基板上的滑座以及设置在所述滑座上的两根防护侧板；

其中，所述基板上面下侧固定有驱动电机，驱动电机的驱动端固定有主动齿轮，基板上设置有丝杆，且丝杆的下端部固定有与主动齿轮啮合的随动齿轮；两根所述防护侧板的端部均通过销杆与滑座上面活动铰接，位于所述滑座上面中间位置固定有内螺纹管；两根所述防护侧板的下端部均安装有一个拉簧，且拉簧另一端与滑座上面固定。

作为本实用新型的一种优选实施方式，位于所述内螺纹管远离所述滑座的一端固定有机械臂，机械臂位于两块所述防护侧板之间。

作为本实用新型的一种优选实施方式，两块所述防护侧板相向的一侧上部均固定粘接有橡胶护垫，位于两块所述防护侧板相反的一侧外壁均固定有橡胶板。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述内螺纹管与丝杆螺纹拧合适配拧合插接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述机械臂与橡胶护垫水平对齐设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型在实际操作时即使防护侧板受到碰撞时，也会通过拉簧以及橡胶板进行缓冲，当碰撞力度较大时，也会通过防护侧板内壁上部的橡胶护垫会贴合在机械臂上形成进一步的缓冲作用，这种防护侧板的防护面积更大，防护效果更好。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种晶圆化镀机多功能机械手的主视图；

图2为本实用新型一种晶圆化镀机多功能机械手的防护侧板结构示意图；

图3为本实用新型一种晶圆化镀机多功能机械手滑座在基板上分布位置俯视截面结构示意图；

图4为本实用新型图1的A处放大结构示意图。