[实用新型]离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构

权利要求书

1.离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，包括装置箱(1)，其特征在于：所述装置箱(1)的内左壁设置有注入孔(2)，所述装置箱(1)的内底壁固定连接有操控箱(3)，所述操控箱(3)的前表面固定连接有电机(4)，所述电机(4)的输出端固定连接有丝杆(5)，所述丝杆(5)的侧表面螺纹连接有滑动板(6)；

所述操控箱(3)的上表面固定连接有滑道(7)，所述滑动板(6)的上表面固定连接有连接板(8)，所述连接板(8)的上表面固定连接有第一电动缸(9)，所述第一电动缸(9)的输出端固定连接有安装板(10)，所述安装板(10)的上表面固定连接有第二支撑杆(14)，所述安装板(10)的上表面且位于第二支撑杆(14)的右侧固定连接有第二电动缸(11)；

所述第二电动缸(11)的输出端转动连接有连接杆(12)，所述连接杆(12)远离第二电动缸(11)的一端转动连接有第一支撑杆(13)，所述第一支撑杆(13)远离连接杆(12)的一端固定连接有靶盘(15)。

2.根据权利要求1所述的离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，其特征在于：所述连接板(8)位于滑道(7)的上侧，且与滑道(7)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，其特征在于：所述第一支撑杆(13)与第二支撑杆(14)转动连接。

4.根据权利要求1所述的离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，其特征在于：所述靶盘(15)的形状为圆形，所述靶盘(15)位于注入孔(2)的右侧。

5.根据权利要求1所述的离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，其特征在于：所述操控箱(3)的上表面设置有滑槽，所述滑动板(6)位于滑槽的内部。

6.根据权利要求1所述的离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，其特征在于：所述滑道(7)的数量有两个，且位于滑槽的两侧。

7.根据权利要求1所述的离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，其特征在于：所述电机(4)与装置箱(1)固定连接。

8.根据权利要求1所述的离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，其特征在于：所述第二支撑杆(14)与第一电动缸(9)位于同一竖直中心。