[实用新型]一种居中曝光机构

说明书

本实用新型提供一种居中曝光机构，包括基座，所述基座上设置有光罩框，设置于光罩框下方的UVW轴驱动平台和光罩框上下运动驱动装置，所述光罩框内夹持有上光罩和下光罩，所述上光罩的上方设置有四个对位相机，所述四个对位相机分别设置于上光罩的四个角处，且所述上光罩和下光罩的四个角处设置有与对位相机配合使用的靶标。本申请所述的居中曝光机构，可以不需要安装边缘感应器来检测材料边缘位置，而是靠相机同时抓取图案靶标和材料边缘位置，实现超高精度的居中曝光。

技术领域

本实用新型涉及曝光机领域，尤其涉及一种居中曝光机构。

背景技术

现有的居中曝光机构原理图如图1所示：包括两个边缘感应器a、光罩框b、UVW轴驱动平台c和光罩框上下运动驱动装置d。

其中边缘感应器a负责检测材料边缘位置，光罩框b卡住印有图案的玻璃光罩，UVW轴驱动平台c可以驱动光罩框b带动玻璃光罩进行X、Y方向的运动，光罩框上下运动驱动装置d负责光罩框b做垂直方向运动。即边缘感应器a检测到材料在边缘位置后，告知UVW轴驱动平台c，然后驱动平台带动光罩进行平面位置移动，让光罩图案处于材料中心位置，然后，光罩框上下运动驱动装置d带着光罩下降到达曝光位置，然后曝光。

但现有的居中曝光机构存在以下问题：

1、2个边缘感应器a检测精度只能达到100微米左右，无法达到10微米的精度，而随着技术标准的逐渐提高，现有曝光图案的居中精度已无法满足；

2、由于光罩框b本身的尺寸，玻璃光罩图案只在光罩的中心位置，所以边缘感应距离实际的图案至少有20cm，这样又会降低边缘感应器检测a的位置的精度；

3、边缘感应器只会在对位前检测一次，告知UVW轴驱动平台c进行移动，而实际曝光时，由于吸真空曝光位置材料位置会发生移动，边缘感应器是无法检测的，这样也会降低居中曝光精度。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种居中曝光机构，可以不需要安装边缘感应器来检测材料边缘位置，而是靠相机同时抓取图案靶标和材料边缘位置，实现超高精度的居中曝光。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种居中曝光机构，包括基座，所述基座上设置有光罩框，设置于光罩框下方的UVW轴驱动平台和光罩框上下运动驱动装置，所述光罩框内夹持有上光罩和下光罩，所述上光罩的上方设置有四个对位相机，所述四个对位相机分别设置于上光罩的四个角处，且所述上光罩和下光罩的四个角处设置有与对位相机配合使用的靶标。

进一步的，所述光罩框呈矩形结构。

进一步的，所述四个对位相机在同一水平面上。

进一步的，还包括与对位相机相连的控制单元，所述控制单元包括PC机以及PLC。

进一步的，所述上光罩和下光罩上开设有真空吸附孔，且所述真空吸附孔内设置有橡皮圈。

如上所述，本实用新型所述的一种居中曝光机构，具有以上有益效果：本申请所述的居中曝光机构，可以不需要安装边缘感应器来检测材料边缘位置，而是靠相机同时抓取图案靶标和材料边缘位置，实现超高精度的居中曝光。

附图说明

图1为现有技术中居中曝光机构的结构示意图；

图2为本实用新型提出的居中曝光机构的结构示意图；

图3为本实用新型提出的居中效果图；

图中：1、材料；2、对位相机；3、上光罩；4、下光罩；5、PC机；6、PLC；7、靶标；a、边缘感应器；b、光罩框；c、UVW轴驱动平台；d、光罩框上下运动驱动装置。

具体实施方式