[实用新型]一种用于消除阳极壁板表面药液流痕的装置

说明书

本实用新型公开了一种用于消除阳极壁板表面药液流痕的装置，包括有药液槽，药液槽的上方设置有可将阳极壁板送入药液槽或将阳极壁板移出药液槽的吊具，药液槽的上端口在分别对应平行于阳极壁板的两侧表面的二个边沿处均固定有进水管，二个进水管均呈横向设置，二个进水管在相对的一侧管壁上均固定连接有若干个喷嘴。本实用新型能够向移出药液槽的阳极壁板的两侧表面喷洒超纯水，对其进行冲洗，稀释孔洞区域流出的药液，从而消除了药液流痕。

技术领域

本实用新型涉及液晶面板生产加工设备技术领域，具体是一种用于消除阳极壁板表面药液流痕的装置。

背景技术

在液晶面板生产过程中，通常会使用刻蚀气体来处理玻璃基板上生成的绝缘膜，由于反应空间密闭，刻蚀气体不只会作用到基板的表面，同时也会向周边扩散，为了保护腔室，在实际生产过程中，通常会在腔室内安装一些耐腐蚀的部件，这些耐腐蚀的部件通常被阳极壁板。阳极壁板的主要成分为合金铝，表面通过阳极氧化形成有一层氧化铝，这层氧化铝有很高的耐腐蚀性能，有效的保护了腔室。

在阳极壁板的生产过程中，会使用化学药液来对其合金表面进行处理，在通过药液进行处理后，通常会配置一个水槽，来清洗掉其表面的残余药液。阳极壁板在由药液槽向水槽转移的过程中，通常会有40～50秒的停留时间，通常称之为空停时间。

在空停时，阳极壁板表面的一些孔洞区域通常会有药液流出，从而在阳极壁板的表面形成药液痕迹，尤其在气温较高的环境下，药液痕迹愈发明显。常规的消除药液流痕的做法是对行车进行提速，来减少空停时间，但对于一些槽体较深(深度超过3M)的情况，为保证阳极壁板升降的安全性，提速的空间有限，且药液流痕的问题仍然无法得到有效的改善。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的缺陷和不足，提供一种用于消除阳极壁板表面药液流痕的装置，能够向移出药液槽的阳极壁板的两侧表面喷洒超纯水，对其进行冲洗，稀释孔洞区域流出的药液，来消除药液流痕。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于消除阳极壁板表面药液流痕的装置，包括有药液槽，其特征在于：所述药液槽的上方设置有可将阳极壁板送入药液槽或将阳极壁板移出药液槽的吊具，药液槽的上端口在分别对应平行于阳极壁板的两侧表面的二个边沿处均固定有进水管，二个所述的进水管均呈横向设置，二个所述进水管在相对的一侧管壁上均固定连接有若干个喷嘴。

进一步的，所述的吊具包括有横杆，所述的横杆上部的两侧分别固定连接有吊耳，横杆的底部的两侧分别固定连接有用于挂装阳极壁板的L形挂杆，所述的L形挂杆上自上而下依次设有若干个腰型孔。

进一步的，所述的L形挂杆采用钛杆。

进一步的，所述的喷嘴采用聚丙烯锥形喷嘴。

进一步的，所述的进水管采用聚丙烯管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在分别对应平行于阳极壁板的两侧表面的二个边沿处均设置有若干个喷嘴，能够向移出药液槽的阳极壁板的两侧表面喷洒超纯水，对其进行冲洗，稀释孔洞区域流出的药液，从而消除了药液流痕。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为图1中A部分的结构放大示意图。

图3为本实用新型中吊具的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。