[实用新型]晶圆清洗阀门装置有效
| 申请号： | 202121765815.0 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN215568304U | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 时岱;吴楠;杨军;包斌 | 申请（专利权）人： | 深圳市栗橡科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/04 | 分类号： | F16K31/04;F16K5/06;F16K5/08 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 518107 广东省深圳市光明区凤凰街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 阀门 装置 | ||
1.晶圆清洗阀门装置，包括阀门外壳(1)，其特征在于：所述阀门外壳(1)的顶部焊接有固定块(5)，所述固定块(5)的顶部焊接有支撑连板(6)，所述支撑连板(6)的顶部固定连接有机罩外壳(20)，所述机罩外壳(20)的内部固定安装有驱动电机(19)，所述驱动电机(19)的输出端固定连接有轴杆(21)，所述轴杆(21)远离驱动电机(19)的一端固定连接有转动弧形块(16)，所述转动弧形块(16)的外表面贴合有槽轮(14)，所述槽轮(14)的内部开设有四个U型槽(15)，所述转动弧形块(16)的外表面焊接有连接条(17)，所述连接条(17)的顶部焊接有焊接凸块(18)，四个所述U型槽(15)的内表面均与焊接凸块(18)的外表面相适配。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗阀门装置，其特征在于：所述阀门外壳(1)的内部开设有贯穿圆孔(2)，所述贯穿圆孔(2)的内表面固定卡接有清洗液管道(3)。
3.根据权利要求2所述的晶圆清洗阀门装置，其特征在于：所述清洗液管道(3)的外表面固定贯穿有两个密封座(8)，所述清洗液管道(3)的右侧固定连接有喷液口(4)。
4.根据权利要求3所述的晶圆清洗阀门装置，其特征在于：两个所述密封座(8)的相对一侧之间活动连接有转动球体(9)，所述转动球体(9)的内部开设有连通孔(10)，所述连通孔(10)的外表面与清洗液管道(3)的内表面相适配。
5.根据权利要求4所述的晶圆清洗阀门装置，其特征在于：所述转动球体(9)的顶部焊接有转动阀杆(11)，所述转动阀杆(11)的外表面固定连接有套块(13)，所述套块(13)的外表面与槽轮(14)的内表面固定相焊接。
6.根据权利要求5所述的晶圆清洗阀门装置，其特征在于：所述转动阀杆(11)的外表面活动套设有密封卡块(12)，所述转动阀杆(11)的外表面活动连接有支架(7)，所述支架(7)的底部与支撑连板(6)的顶部相焊接。
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