[实用新型]一种真空镀膜靶材用钢管直线度检验辅具

权利要求书

1.一种真空镀膜靶材用钢管直线度检验辅具，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上端设有槽体(2)，所述槽体(2)内设有移动机构，所述移动机构连接有滑板(8)，所述滑板(8)内设有腔体(12)，所述腔体(12)内设有检测机构，所述底座(1)上端设有两根电动伸缩杆(5)，两根所述电动伸缩杆(5)的伸缩端均固定连接有圆环(6)，所述圆环(6)内设有多个空腔(15)，所述空腔(15)内设有固定机构，所述滑板(8)上端设有用于显示检测结果的显示机构。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜靶材用钢管直线度检验辅具，其特征在于，所述移动机构包括与底座(1)侧壁固定连接的驱动电机(11)，所述驱动电机(11)的输出端延伸至槽体(2)内并固定连接有螺纹杆(3)，所述螺纹杆(3)与滑板(8)螺纹连接，所述滑板(8)与槽体(2)的内壁滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜靶材用钢管直线度检验辅具，其特征在于，所述检测机构包括位于腔体(12)内的抵杆(14)，所述抵杆(14)位于腔体(12)内的一端固定连接有压板(4)，所述抵杆(14)上套设有第一弹簧，所述抵杆(14)的另一端延伸至腔体(12)外并固定连接有弧形抵板(9)，所述腔体(12)的内壁设有压力传感器(13)。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜靶材用钢管直线度检验辅具，其特征在于，所述固定机构包括位于空腔(15)内的支撑杆(16)，所述支撑杆(16)位于空腔(15)内的一端与空腔(15)的内壁之间通过第二弹簧弹性连接，所述支撑杆(16)的另一端延伸至空腔(15)外并固定连接有弧形夹板(7)。

5.根据权利要求3所述的一种真空镀膜靶材用钢管直线度检验辅具，其特征在于，所述显示机构包括与滑板(8)侧壁固定连接的控制器(17)，所述滑板(8)上端设有LED灯(10)，所述控制器(17)、LED灯(10)与压力传感器(13)之间电性连接。

6.根据权利要求4所述的一种真空镀膜靶材用钢管直线度检验辅具，其特征在于，所述弧形夹板(7)侧壁设有防滑纹。