[实用新型]一种电涡流传感器组件及具有其的磁悬浮分子泵有效
| 申请号： | 202121812052.0 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN215296142U | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 刘强;张亮;任世瑜;罗珂;陈林 | 申请（专利权）人： | 北京中科九微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 101111 北京市大兴区经济技术开发区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 涡流 传感器 组件 具有 磁悬浮 分子 | ||
1.一种电涡流传感器组件，其特征在于，包括：
安装座(1)，具有中心通孔；
电感探头(2)，具有围绕所述中心通孔对称设置的多个，所述电感探头(2)沿所述中心通孔的径向位置可调的连接在所述安装座(1)上。
2.根据权利要求1所述的电涡流传感器组件，其特征在于，所述安装座(1)上具有用于插入所述电感探头(2)的安装孔。
3.根据权利要求2所述的电涡流传感器组件，其特征在于，所述安装座(1)的安装孔内具有用于卡接所述电感探头(2)的抵接件(4)。
4.根据权利要求3所述的电涡流传感器组件，其特征在于，所述抵接件(4)通过螺纹结构连接在所述安装座(1)上，所述抵接件(4)的一端延伸至所述安装孔内，所述抵接件(4)的另一端伸向所述安装座(1)的外部。
5.根据权利要求4所述的电涡流传感器组件，其特征在于，所述抵接件(4)的朝向所述安装座(1)外部的一端具有用于与操作件配合的转动限位结构。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的电涡流传感器组件，其特征在于，所述电感探头(2)与所述安装座(1)通过螺纹连接。
7.根据权利要求1-5中任一项所述的电涡流传感器组件，其特征在于，所述安装座(1)为环形结构，所述电感探头(2)为柱形结构，所述电感探头(2)的尾部(6)穿过所述安装座(1)后与所述安装座(1)的外部连通。
8.根据权利要求7所述的电涡流传感器组件，其特征在于，所述电感探头(2)的头部(5)缠绕有导线，所述导线从电感探头(2)的内部延伸至电感探头(2)的尾部(6)，所述安装座(1)的外壁上设有用于所述电感探头(2)的导线进行走线的环形凹槽(7)。
9.根据权利要求1-5中任一项所述的电涡流传感器组件，其特征在于，所述安装座(1)的底端设有若干用于安装定位的缺口(3)。
10.一种磁悬浮分子泵，其特征在于，包括：权利要求1-9中任一项所述的电涡流传感器组件，所述电涡流传感器组件套设在磁悬浮分子泵的转轴上。
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