[实用新型]一种埚帮结构及单晶炉热场有效
申请号: | 202121825651.6 | 申请日: | 2021-08-05 |
公开(公告)号: | CN215800045U | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 谢志宴;杨少平;李侨;邓浩;周锐;程磊 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 结构 单晶炉热场 | ||
1.一种埚帮结构,用于单晶炉的热场中,其特征在于,所述埚帮结构包括:埚帮本体、填充件和埚托,其中:
所述填充件填充于所述埚帮本体的底部开口处,用于与所述埚帮本体配合承载所述热场中的石英坩埚;
所述填充件可沿所述埚帮本体的底部至所述埚帮本体的顶部方向,与所述埚帮本体分离,所述填充件可沿所述埚帮本体的顶部至所述埚帮本体的底部的方向,与所述埚帮本体配合;
所述埚托设置于所述埚帮本体的底部,用于支撑所述埚帮本体和所述填充件。
2.根据权利要求1所述的埚帮结构,其特征在于,所述埚帮本体包括侧壁以及弯曲部,所述埚帮本体的顶部开口形成在所述侧壁的第一侧,所述侧壁的第二侧与所述弯曲部的第一侧相连接,所述埚帮本体的底部开口形成在所述弯曲部的第二侧;
所述填充件与所述弯曲部的第二侧相配合。
3.根据权利要求2所述的埚帮结构,其特征在于,所述填充件可拆卸的设置在所述弯曲部的第二侧;
所述填充件可沿所述埚帮本体的底部至所述埚帮本体的顶部的方向,与所述弯曲部分离;
所述填充件可沿所述埚帮本体的顶部至所述埚帮本体的底部的方向,与所述弯曲部配合。
4.根据权利要求3所述的埚帮结构,其特征在于,所述弯曲部的第二侧具有第一卡接结构,所述填充件具有与所述第一卡接结构相匹配的第二卡接结构。
5.根据权利要求4所述的埚帮结构,其特征在于,所述第一卡接结构为凹槽或凸台,所述第二卡接结构为凸台或凹槽;
或,所述第一卡接结构为下降楔形结构,所述第二卡接结构为上升楔形结构。
6.根据权利要求2所述的埚帮结构,其特征在于,所述弯曲部的第一侧与所述埚帮本体的顶部开口的距离小于所述弯曲部的第二侧与所述埚帮本体的顶部开口的距离。
7.根据权利要求2所述的埚帮结构,其特征在于,所述埚帮本体为一体成型的埚帮本体。
8.根据权利要求1至7任一项所述的埚帮结构,其特征在于,所述填充件具有承载所述热场中的石英坩埚的第一面,以及与所述第一面相对的第二面;所述填充件的第一面具有与所述石英坩埚相匹配的结构;所述填充件的第二面具有与所述埚托相匹配的结构。
9.根据权利要求1至7任一项所述的埚帮结构,其特征在于,所述埚帮本体、填充件和埚托的材质均为碳碳材质或石墨材质。
10.一种单晶炉热场,其特征在于,包括权利要求1至9任一项所述的埚帮结构。
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