[实用新型]用于碳化硅生产尾料炉芯石墨制备高纯碳粉的装置

权利要求书

1.用于碳化硅生产尾料炉芯石墨制备高纯碳粉的装置，其特征在于，包括管式石墨坩埚，依次围设在管式石墨坩埚外侧的惰性气体保护腔、刚玉套管、隔热层和金属外壳，以及设在管式石墨坩埚顶部的坩埚盖、设在管式石墨坩埚底部的气流分配结构；所述坩埚盖上设有第一电极棒，所述金属外壳上设有与管式石墨坩埚外壁连接的第二电极棒，所述第二电极棒依次贯穿惰性气体保护腔、刚玉套管、隔热层和金属外壳并延伸至金属外壳外部。

2.如权利要求1所述的用于碳化硅生产尾料炉芯石墨制备高纯碳粉的装置，其特征在于，所述管式石墨坩埚顶部外扩形成喇叭口状，所述管式石墨坩埚底部缩口形成锥筒状，管式石墨坩埚底部连接有延伸至金属外壳外侧的通气管。

3.如权利要求2所述的用于碳化硅生产尾料炉芯石墨制备高纯碳粉的装置，其特征在于，所述坩埚盖扣合在上管式石墨坩埚顶部，坩埚盖上设有排气管。

4.如权利要求2所述的用于碳化硅生产尾料炉芯石墨制备高纯碳粉的装置，其特征在于，所述气流分配结构包括设在管式石墨坩埚底部的气流分配盘，所述气流分配盘上设有众多通气孔。

5.如权利要求4所述的用于碳化硅生产尾料炉芯石墨制备高纯碳粉的装置，其特征在于，所述第一电极棒伸入管式石墨坩埚内部，且端部临近气流分配盘。