[实用新型]处理装置有效

专利信息
申请号: 202121838004.9 申请日: 2021-08-06
公开(公告)号: CN215466488U 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 吴凝香 申请(专利权)人: 超捷半导体设备(深圳)有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;F26B21/00;B08B13/00
代理公司: 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 代理人: 彭涛;刘曰莹
地址: 518000 广东省深圳市龙华区大浪街道浪*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 处理 装置
【说明书】:

实用新型涉及清洁装置技术领域,尤其涉及一种处理装置,包括底座及平行设置的第一框架板、第二框架板、第一处理部及两个第一自动开合门系统,所述底座位于第一框架板与第二框架板之间并分别与第一框架板的一端及第二框架板的一端固定连接,所述第一处理部设置在底座上靠近第一框架板及第二框架板的一端,两个所述第一自动开合门系统分别设置在第一框架板、第二框架板之间并分别与第一框架板、第二框架板及底座连接,所述第一处理部位于两第一自动开合门系统之间,所述第一自动开合门系统在检测到外界设备时开启,在未检测到外界设备时闭合。

【技术领域】

本实用新型涉及清洁装置技术领域,尤其涉及一种处理装置。

【背景技术】

市面上的一些处理装置,在对基板进行处理时由于不同处理部之间为开放状态,导致上一处理部中的液体、气体轻易进入至下一处理部,使得下一处理部的结构被腐蚀、污染,不利于后续工作人员的清洁及降低了整体的使用寿命。

因此,现有技术存在不足,需要改进。

【实用新型内容】

为克服上述上一处理部中的液体、气体轻易进入至下一处理部导致下一处理部被污染的技术问题,本实用新型提供了一种处理装置。

本实用新型解决技术问题的方案是提供一种处理装置,包括底座及平行设置的第一框架板、第二框架板、第一处理部及两个第一自动开合门系统,所述底座位于第一框架板与第二框架板之间并分别与第一框架板的一端及第二框架板的一端固定连接,所述第一处理部设置在底座上靠近第一框架板及第二框架板的一端,两个所述第一自动开合门系统分别设置在第一框架板、第二框架板之间并分别与第一框架板、第二框架板及底座连接,所述第一处理部位于两第一自动开合门系统之间,所述第一自动开合门系统在检测到外界设备时开启,在未检测到外界设备时闭合。

优选地,所述第一自动开合门系统包括固定板、两个检测装置及自动门,所述固定板分别与第一框架板、第二框架板及底座固定连接,在所述固定板上开设有用于外界设备通过且与自动门的形状、大小相匹配的通孔,所述自动门的一端枢接于通孔处,两个所述检测装置分别设置在自动门的两端,在两所述检测装置中的一者在检测到外界设备时控制自动门开启,在两所述检测装置均未检测到外界设备时控制自动门闭合。

优选地,所述处理装置还包括第二处理部及第二自动开合门系统,所述第二自动开合门系统设置在第一框架板、第二框架板之间并分别与第一框架板、第二框架板及底座连接,所述第二处理部设置在第二自动开合门系统与第一处理部之间,所述第二自动开合门系统在检测到外界设备时开启,在未检测到外界设备时闭合。

优选地,所述处理装置还包括第三处理部,所述第三处理部设置在第二自动开合门系统远离第二处理部的一端。

优选地,所述第一处理部为水洗部,包括若干喷管组,若干所述喷管组呈对称设置在底座上。

优选地,所述喷管组包括第一喷管及第二喷管,所述第一喷管设置在第二喷管之间。

优选地,所述第三处理部为风切部,包括第一风切组及第二风切组,所述第一风切组设置在第二风切组的正上方或前上方。

优选地,所述第一风切组和/或第二风切组倾斜设置。

优选地,所述第三处理部还包括第三风切组,所述第三风切组设置在第二风切组的下方或设置在风切部与烘干部之间的缓冲区的下方。

优选地,所述处理装置还包括第四处理部及第三自动开合门系统,所述第三自动开合门系统设置在第一框架板、第二框架板之间并分别与第一框架板、第二框架板及底座连接,所述第三自动开合门系统设置在第三处理部与第四处理部之间,所述第三自动开合门系统在检测到外界设备时开启,在未检测到外界设备时闭合。

相对于现有技术,本实用新型的处理装置具有如下优点:

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