[实用新型]一种真空镀膜靶材用钢管机加工支撑辅具

权利要求书

1.一种真空镀膜靶材用钢管机加工支撑辅具，包括支撑底座(1)和钢管机(3)，所述钢管机(3)设置在支撑底座(1)的正上方，其特征在于，所述支撑底座(1)的底端固定连接有多块橡胶垫(2)，所述钢管机(3)的顶端固定连接有一块连接块(4)，所述连接块(4)呈弧形设置，所述连接块(4)的底端固定连接有一根连接杆一(5)，所述支撑底座(1)的顶端也固定连接有一根与连接杆一(5)相对应的连接杆二(6)，所述连接杆一(5)和连接杆二(6)之间设置有一个缓冲装置。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜靶材用钢管机加工支撑辅具，其特征在于，所述缓冲装置包括缓冲盒(8)，所述缓冲盒(8)的内部固定连接有一块分隔板(10)，所述分隔板(10)固定连接在缓冲盒(8)的中间处，所述分隔板(10)上开设有两个活塞口(12)，两个所述活塞口(12)相反设置，每个所述活塞口(12)中均设置有一个与其形状相匹配的活塞块(13)，两个所述活塞块(13)远离对应的活塞口(12)的一端均固定连接有一块连接板(14)，两块所述连接板(14)靠近分隔板(10)的一侧侧壁上均固定连接有两根弹簧杆，多根上所述弹簧杆的另一端均与对应的分隔板(10)的侧壁固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜靶材用钢管机加工支撑辅具，其特征在于，所述连接杆一(5)和连接杆二(6)靠近缓冲盒(8)的一端局固定连接有一根固定杆(9)，两根所述固定杆(9)分别贯穿缓冲盒(8)的上内壁与下内壁伸入到缓冲盒(8)中设置，两根所述固定杆(9)伸入到缓冲盒(8)内的一端均固定连接有一块压力板(11)，两根所述固定杆(9)贯穿缓冲盒(8)的位置处均固定连接有防漏垫。

4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜靶材用钢管机加工支撑辅具，其特征在于，所述连接杆一(5)和连接杆二(6)靠近缓冲盒(8)的要丢按均固定连接有多个缓冲弹簧(15)，多个所述缓冲弹簧(15)的另一端分别固定连接在对应的缓冲盒(8)的侧壁上，所述缓冲盒(8)内填充有缓冲油。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜靶材用钢管机加工支撑辅具，其特征在于，所述支撑底座(1)的顶端还固定连接有两根对称设置的支撑板(7)，两根所述支撑板(7)分别设置在钢管机(3)的左右两侧处设置，所述钢管机(3)的左右侧壁上均固定连接有一块固定块(16)，两块所述固定块(16)的另一端分别滑动连接在对应的固定块(16)的侧壁上。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜靶材用钢管机加工支撑辅具，其特征在于，两块所述固定块(16)远离钢管机(3)的一端均固定连接有一块滑块(17)，两根所述支撑板(7)的侧壁上也开设有与两块滑块(17)相匹配的滑槽(18)。