[实用新型]一种坩埚升降器及晶体生长装置

权利要求书

1.一种坩埚升降器，用于晶体生长，其特征在于，包括：

坩埚，所述坩埚用于装载熔体；

加热装置，所述加热装置围绕所述坩埚设置；

升降装置，所述升降装置设置于所述坩埚的底部，并用于晶体生长过程中升降所述坩埚以使所述熔体的液面的位置与所述加热装置的位置相匹配；或所述升降装置设置于所述加热装置的底部，并用于晶体生长过程中升降所述加热装置以使所述熔体的液面的位置与所述加热装置的位置相匹配。

2.根据权利要求1所述的坩埚升降器，其特征在于，当所述升降装置设置于所述坩埚的底部时，所述升降装置包括：

基板；

升降组件，所述升降组件设置于所述基板；

支撑组件，所述支撑组件的两端分别与所述升降组件、所述坩埚连接。

3.根据权利要求2所述的坩埚升降器，其特征在于，所述支撑组件包括：

支撑盘，所述支撑盘与所述坩埚连接；

支撑杆，所述支撑杆与所述支撑盘连接，所述支撑杆内形成容纳空间；

冷却件，所述冷却件位于所述容纳空间内以冷却所述支撑杆。

4.根据权利要求3所述的坩埚升降器，其特征在于，所述冷却件采用水冷冷却件。

5.根据权利要求3所述的坩埚升降器，其特征在于，所述基板上设置有过孔，所述升降组件和所述坩埚分别位于所述基板的两侧；

所述支撑杆位于所述过孔内；

所述支撑杆外设置有密封波纹管，所述密封波纹管的两端分别与所述支撑杆、所述基板连接。

6.根据权利要求2所述的坩埚升降器，其特征在于，所述升降组件包括：

基座，所述基座设置于所述基板；

螺杆，所述螺杆与所述基座转动连接；

驱动件，所述驱动件设置于所述基座，所述驱动件与所述螺杆连接以驱动所述螺杆转动；

连接件，所述连接件设置于所述支撑组件，所述连接件与所述螺杆转动连接。

7.根据权利要求6所述的坩埚升降器，其特征在于，所述基座上设置有导轨；

所述连接件上设置有滑块，所述滑块与所述导轨滑动连接。

8.根据权利要求1-7任一项所述的坩埚升降器，其特征在于，

所述坩埚为铱坩埚或铱合金坩埚。

9.根据权利要求1-7任一项所述的坩埚升降器，其特征在于，

所述加热装置为感应线圈。

10.一种晶体生长装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至9任意一项所述的坩埚升降器。