[实用新型]一种真空腔室粉尘收集装置有效
申请号: | 202121840820.3 | 申请日: | 2021-08-06 |
公开(公告)号: | CN215586771U | 公开(公告)日: | 2022-01-21 |
发明(设计)人: | 周磊;丁媛;窦沛静;杨永波 | 申请(专利权)人: | 四川艾庞机械科技有限公司 |
主分类号: | B03C1/02 | 分类号: | B03C1/02;B08B1/00;B08B13/00 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 宁政 |
地址: | 629000 四川省遂宁*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 空腔 粉尘 收集 装置 | ||
本实用新型涉及液晶面板加工领域,具体是一种真空腔室粉尘收集装置,包括安装板、铜刷架、铜刷、收粉盒和磁性件,所述安装板可拆卸连接在安装座上,所述铜刷安装在铜刷架上,所述收粉盒连接在安装板上,所述磁性件设置在收粉盒内。解决粉尘收集的问题。
技术领域
本实用新型涉及液晶面板加工领域,具体是指一种真空腔室粉尘收集装置。
背景技术
在液晶显示面板生产过程中,玻璃基材进入真空腔室是通过Carrier或Tray台车运送。台车下部一般为一根直线度极高的光轴。在运送过程中光轴会与通道固定的滚轮装置产生摩擦,加之静电等作用光轴上一定会产生粉尘、细屑等颗粒。这些颗粒一旦附着在光轴上后势必会带入真空腔室,在真空腔室进行蒸镀工艺过程中这些有害物质会污染产品,甚至造成意想不到的设备故障。为了保证产品质量和保护设备,势必在Carrier或Tray台车进入真空腔室之前作出必要的无尘化处理。
实用新型内容
基于以上问题,本实用新型提供了一种真空腔室粉尘收集装置,解决液晶显示面板生产过程中真空腔室的粉尘收集的问题。
为解决以上技术问题,本实用新型采用的技术方案如下:
一种真空腔室粉尘收集装置,包括安装板、铜刷架、铜刷、收粉盒和磁性件,所述安装板可拆卸连接在安装座上,所述铜刷安装在铜刷架上,所述收粉盒连接在安装板上,所述磁性件设置在收粉盒内。
进一步,所述安装板包括横向安装结构和竖向安装结构,所述收粉盒连接在安装板的竖向安装结构上,所述铜刷架可拆卸连接在安装板的竖向安装结构上。
进一步,所述铜刷架呈U型状,所述铜刷架的竖向部可拆卸连接在安装板的竖向安装结构上,所述铜刷安装在铜刷架的横向部。
进一步,所述铜刷架的竖向部开设有条形安装孔。
进一步,所述磁性件为吸粉磁条。
进一步,所述收粉盒包括盖体与盒体,所述盖体与盒体均采用栅格状设置,所述栅格状的格宽为8mm。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:利用有害物质具有磁性的特点,通过铜刷对光轴进行刷洗,刷掉的有害物质被吸粉磁条吸附在收粉盒内,定期对收粉盒进行清理,解决了粉尘收集的问题。
附图说明
图1为本实施例的结构示意图。
其中,安装板1、铜刷架2、铜刷3、收粉盒4、盖体402、盒体403、磁性件5、条形安装孔6。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“内”、“外”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示
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